MS-500 TORAY東麗 氧氣分析儀
參考價 | ¥ 18000 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 納加霍里科技(上海)有限公司
- 品牌 TORAY/東麗
- 型號 MS-500
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/8/15 17:34:45
- 訪問次數(shù) 316
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,能源,綜合 |
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TORAY東麗 氧氣分析儀 MS-500
TORAY東麗 氧氣分析儀 MS-500
氧氣濃度計半導(dǎo)體、液晶、電子零部件相關(guān)應(yīng)用
最多可以同時測量8個點
可以從ppm級別到100%的廣泛濃度表示。
安裝在半導(dǎo)體制造裝置、真空裝置等上
傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)
對高耐久的傳感器施以特殊涂層,進(jìn)一步提高耐久性
測定原理 | ジルコニア濃淡電池式 | ||
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形狀 | 分離型(変換器:壁掛式、センサ:直挿式) | ||
表示方式 | デジタル4桁表示(濃度表示) | ||
測定レンジ | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm 自動レンジ | ||
繰返性 | ±0.5%FS以內(nèi) 0-1%レンジ以上 ±1%FS以內(nèi)または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範(fàn)囲外 | ||
測定點數(shù) | 1~8 | ||
サンプルガス條件 | 圧力 | 10-3~200KPa(絶対圧) | |
流量 | 0.5~5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測定) | ||
濕度 | 露點が周囲溫度以下 | ||
溫度 | 0~100℃ | ||
その他 | 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機(jī)シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと | ||
比較ガス | 大気 | ||
記録計出力 | 伝送出力のみ | ||
伝送出力 | RS-232C | ||
警報出力 | なし | ||
ウォームアップ時間 | 6分以內(nèi) | ||
寸法 | MS-500(コントローラ) | 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず) | |
MS-510(変換機(jī)) | 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず) | ||
センサユニット | SD16NW | 全長100mm(センシング部Φ11×39,胴體部Φ40×51) | |
SD25NW | 全長100mm(センシング部Φ11×42,胴體部Φ40×48) | ||
SD40NW | 全長100mm(センシング部Φ11×41,胴體部Φ40×49) | ||
質(zhì)量 | MS-500(コントローラ) | 約0.6Kg | |
MS-510(変換器) | 約0.5kg | ||
センサユニット | SD16NW | 約0.2Kg | |
SD25NW | 約0.2Kg | ||
SD40NW | 約0.35Kg | ||
外部接続 | 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか | ||
使用電源 | 24VDC±10% |