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          UniPrinter研發(fā)型Desktop納米壓印光刻設(shè)備

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          青島天仁微納科技有限責(zé)任公司成立于2015年,是引新的納米壓印設(shè)備和解決方案提供商。公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力是為客戶(hù)提供納米壓印整體解決方案。產(chǎn)品與服務(wù)涵蓋納米壓印相關(guān)的設(shè)備、模具、材料、工藝以及生產(chǎn)咨詢(xún)服務(wù)。我們致力于拓展納米壓印技術(shù)在創(chuàng)新產(chǎn)品領(lǐng)域的應(yīng)用,例如發(fā)光二極管(LEDs)、微納機(jī)電系統(tǒng)(MEMs/NEMs)、虛擬現(xiàn)實(shí)和增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)光波導(dǎo)(AR Waveguides)、3D傳感、生物芯片、顯示以及太陽(yáng)能等。

          微納加工設(shè)備,配套材料,配套產(chǎn)品,相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)咨詢(xún)服務(wù)

          UniPrinter研發(fā)型Desktop納米壓印光刻設(shè)備是一種專(zhuān)門(mén)為大學(xué)、科研院所和企業(yè)產(chǎn)品研發(fā)所設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單、功能強(qiáng)大的臺(tái)面型納米壓印光刻設(shè)備??蓪?shí)現(xiàn)4英寸以下基底面積上高精度(優(yōu)于10nm * )、高深寬比(優(yōu)于10比1 * )納米結(jié)構(gòu)壓印,適合用作紫外納米壓印光刻工藝開(kāi)發(fā),器件原型快速驗(yàn)證,納米壓印材料測(cè)試等研發(fā)。它沿用天仁微納量產(chǎn)型納米壓印設(shè)備的工藝與材料體系,在UniPrinter上開(kāi)發(fā)的工藝可以無(wú)障礙轉(zhuǎn)移到天仁微納其它量產(chǎn)設(shè)備上進(jìn)行生產(chǎn)。

          UniPrinter納米壓印設(shè)備適用于DOE、AR/VR衍射光波導(dǎo)(包括斜齒光柵)、線(xiàn)光柵偏振、超透鏡、生物芯片、LED等應(yīng)用領(lǐng)域的研發(fā)。

          UniPrinter研發(fā)型Desktop納米壓印光刻設(shè)備主要功能

          ● 沿用天仁微納量產(chǎn)型納米壓印設(shè)備的工藝與材料體系,開(kāi)發(fā)的工藝可以無(wú)障礙轉(zhuǎn)移到量產(chǎn)設(shè)備上進(jìn)行生產(chǎn)

          ● 直徑100mm以下面積高精度、高深寬比納米壓印

          ● 設(shè)備內(nèi)自動(dòng)復(fù)制柔性復(fù)合工作模具

          ● 自動(dòng)壓印、自動(dòng)曝光固化、自動(dòng)脫模,工藝過(guò)程無(wú)需人工干預(yù)

          ● 標(biāo)配高功率紫外LED面光源(365nm,光強(qiáng)>300mW/cm2 ),支持各種納米壓印材料

          ● 隨機(jī)提供全套納米壓印工藝與材料,包括DOE、AR斜齒光柵、高密度、高深寬比結(jié)構(gòu)等工藝流程,幫助客戶(hù)零門(mén)檻達(dá)到高質(zhì)量的納米壓印水平


          設(shè)備照片

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          相關(guān)參數(shù)

          兼容基底尺寸直徑≤100mm
          支持基底材料硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等
          納米壓印技術(shù)適合高精度、高深寬比納米結(jié)構(gòu)壓印
          壓印精度優(yōu)于10納米*
          結(jié)構(gòu)深寬比優(yōu)于10比1*
          殘余層控制可小于10nm*
          紫外固化光源紫外LED(365nm)面光源,光強(qiáng)>300mW/cm2
          自動(dòng)壓印支持
          自動(dòng)脫模支持
          自動(dòng)工作模具復(fù)制支持
          上下片方式手動(dòng)上下片





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