成都真空廠家 復(fù)合磁控濺射鍍膜機 可定制
- 公司名稱 成都漢普升科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/11/18 13:25:35
- 訪問次數(shù) 68
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、過渡倉、磁力機械手、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成,同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),可根據(jù)客戶使用需求定制。
●真空腔體:φ650X700雙層水冷;(可根據(jù)實際需求定制)
●真空系統(tǒng):分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復(fù)合真空系統(tǒng);
●真空抽速:1600L/S,進口全量程復(fù)合真空計,全金屬防爆真空規(guī);
●極限真空:6.7X10-5Pa;(根據(jù)客戶選擇主泵確定)
●磁控靶組件:4個矩形靶,3個圓形靶,根據(jù)客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源;
●離子源:1套線性離子源,匹配專用電源;
●氣路:4路反應(yīng)氣體,進口質(zhì)量流量計,1路毛細保護氣路;
●烘烤溫度:300℃,不銹鋼鎧裝加熱器,可拆卸快裝結(jié)構(gòu);
●工件盤:導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套,工件盤裝夾移動小車一輛;
●控制系統(tǒng):西門子PLC+西門子人機界面+工業(yè)控制計算機。