半導體專用顯微鏡
- 公司名稱 北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司
- 品牌 ZEISS/蔡司
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/9/23 14:33:14
- 訪問次數(shù) 719
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
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檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求
從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓,甚至整個平板顯示器,檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm,最大橫向樣品空間為300 mm,大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設(shè)計確保了良好的穩(wěn)定性??蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應用要求。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。
潔凈室
半導體生產(chǎn)和晶圓檢測需要在潔凈室內(nèi)進行。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標準,以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過此標準認證,并滿足5級潔凈室的應用要求。ISO 5級潔凈室相當于原先標準FED STD 209E(1992)的100級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉(zhuǎn)盤、一個顆粒保護罩和防噴嚏保護罩。
優(yōu)勢
具有兩種手動機柱和一種電動機柱(配有符合工業(yè)標準的三個模式控制按鈕)可供選擇,充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300 mm x 300 mm和最大樣品高度254 mm的優(yōu)勢。
Axio Imager Vario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品,依然可以獲得高聚焦精度和可重復性。
借助硬件自動對焦功能,可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。
將Axio Imager Vario與LSM 900結(jié)合使用,能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品
Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認證,并滿足5級潔凈室的應用要求。