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          化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>退火爐>RTP-SA-12 半自動(dòng)快速退火爐

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          RTP-SA-12 半自動(dòng)快速退火爐

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱 東莞市晟鼎精密儀器有限公司
          • 品牌 晟鼎
          • 型號(hào) RTP-SA-12
          • 產(chǎn)地
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
          • 更新時(shí)間 2024/2/4 13:45:02
          • 訪問次數(shù) 615

          聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


          東莞市晟鼎精密儀器有限公司致力于為用戶提供專業(yè)的表面處理與檢測(cè)整體解決方案,集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的企業(yè)。

          是接觸角國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T 30693-2014)參與制定者,擁有行業(yè)內(nèi)等離子實(shí)驗(yàn)室,與華南理工大學(xué)創(chuàng)建等離子技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,并擁有10多位行業(yè)技術(shù)專家。團(tuán)隊(duì)成員以多年從事材料表面、電子電氣、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域研發(fā)的博士、碩士、學(xué)士為主,本科學(xué)歷以上占比50%,涵蓋業(yè)內(nèi)華南理工等各大高校人才,打造業(yè)界的研發(fā)團(tuán)隊(duì)。

          Apple、華為、小米、OPPO、京東方、富士康、比亞迪、藍(lán)思、伯恩、兆馳、三安光電、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等企業(yè)及科研院校長(zhǎng)期合作伙伴。

          企業(yè)愿景:致力于為用戶提供專業(yè)的表面處理與檢測(cè)整體解決方案!

          企業(yè)價(jià)值觀:誠(chéng)信 感恩 創(chuàng)新 專業(yè) 擔(dān)當(dāng) 成長(zhǎng) 同心 拼搏






          接觸角測(cè)量?jī)x,等離子清洗機(jī),半導(dǎo)體快速退火爐、USC干式超聲波,靜電消除器

          溫度范圍 室溫~1250℃ 最高升溫速度 ≤25℃/s(SiC載盤)
          溫控方式 快速PID溫控 溫度控制重復(fù)性 ±1℃

          半自動(dòng)快速退火爐RTP-SA-12是在保護(hù)氣氛下的半自動(dòng)立式快速退火系統(tǒng),可兼容4-12英寸晶圓Wafer。

          半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

          ?采用紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷;

          ?快速PID溫控,可精準(zhǔn)控制溫度升溫,保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性;

          ?采用平行氣路進(jìn)氣方式,氣體進(jìn)出口設(shè)置在晶圓表面,避免退火過程中冷點(diǎn)產(chǎn)生,保證良好的溫度均勻性;

          ?大氣與真空處理方式均可選擇,實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣前氣體凈化處理;

          ?標(biāo)配兩組工藝氣體,最多可擴(kuò)展至6組工藝氣體。

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          晟鼎精密核心產(chǎn)品系列有接觸角測(cè)量?jī)x、等離子清洗機(jī)、USC干式超聲波除塵清洗機(jī)、離子靜電消除裝置、半導(dǎo)體快速退火爐等表面性能處理及檢測(cè)儀器設(shè)備。

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