RTP-SA-12 半自動(dòng)快速退火爐
- 公司名稱 東莞市晟鼎精密儀器有限公司
- 品牌 晟鼎
- 型號(hào) RTP-SA-12
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/2/4 13:45:02
- 訪問次數(shù) 615
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溫度范圍 | 室溫~1250℃ | 最高升溫速度 | ≤25℃/s(SiC載盤) |
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溫控方式 | 快速PID溫控 | 溫度控制重復(fù)性 | ±1℃ |
半自動(dòng)快速退火爐RTP-SA-12是在保護(hù)氣氛下的半自動(dòng)立式快速退火系統(tǒng),可兼容4-12英寸晶圓Wafer。
半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
?采用紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷;
?快速PID溫控,可精準(zhǔn)控制溫度升溫,保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性;
?采用平行氣路進(jìn)氣方式,氣體進(jìn)出口設(shè)置在晶圓表面,避免退火過程中冷點(diǎn)產(chǎn)生,保證良好的溫度均勻性;
?大氣與真空處理方式均可選擇,實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣前氣體凈化處理;
?標(biāo)配兩組工藝氣體,最多可擴(kuò)展至6組工藝氣體。
晟鼎精密核心產(chǎn)品系列有接觸角測(cè)量?jī)x、等離子清洗機(jī)、USC干式超聲波除塵清洗機(jī)、離子靜電消除裝置、半導(dǎo)體快速退火爐等表面性能處理及檢測(cè)儀器設(shè)備。