| 關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 | 1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE； | |
| 2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE； | |||
| 加速電壓 | 100 V~6 kV(減速模式) | ||
| 6 kV~30 kV(非減速模式) | |||
| 放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
| 電子槍類型 | 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍 | ||
| 物鏡類型 | 浸沒式電磁復(fù)合物鏡 | ||
| 樣品裝載系統(tǒng) | 真空系統(tǒng) | 全自動控制，無油真空系統(tǒng) | |
| 樣品監(jiān)控 | 樣品倉監(jiān)控水平攝像頭 ； 換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭 | ||
| 樣品最大尺寸 | 直徑4英寸 | ||
| 樣品臺 | 類型 | 電機驅(qū)動3軸樣品臺（*可選配壓電驅(qū)動樣品臺） | |
| 行程 | X、Y軸：110mm； Z軸：28mm； | ||
| 重復(fù)定位精度 | X軸：±0.6μm； Y軸：±0.3μm； | ||
| 換樣方式 | 全自動控制 | ||
| 換樣時間 | ＜15 min | ||
| 換樣倉清洗 | 全自動控制等離子清洗系統(tǒng) | ||
| 圖像采集與處理 | 駐點時間 | 10 ns/pixel | |
| 圖像采集速度 | 2*100 M pixel/s | ||
| 圖像大小 | 8K*8K | ||
| 探測器和擴展 | 標配 | 鏡筒內(nèi)混合電子探測器 | |
| 選配 | 低角度背散射電子探測器 | ||
| 鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測器 | |||
| 壓電驅(qū)動樣品臺 | |||
| 高分辨大場模式 | |||
| 樣品倉等離子清洗系統(tǒng) | |||
| 6英寸樣品裝載系統(tǒng) | |||
| 主動減震臺 | |||
| AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu) | |||
| 軟件 | 語言 | 中文 | |
| 操作系統(tǒng) | Windows | ||
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航 | ||
| 自動功能 | 自動樣品識別、自動選區(qū)拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 | ||
HEM6000 國儀量子高速掃描電子顯微鏡
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 國儀量子技術(shù)（合肥）股份有限公司
- 品牌
- 型號 HEM6000
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/29 17:44:29
- 訪問次數(shù) 4131
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時間：
創(chuàng)新：
2023-08-08
高速自動化
全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍
大場低畸變
跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變
低壓高分辨
樣品臺減速技術(shù)，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率
全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍
大場低畸變
跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變
低壓高分辨
樣品臺減速技術(shù)，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率
EPR電子順磁共振波譜儀、SEM掃描電子顯微鏡、比表面及孔徑分析儀、高溫高壓吸附儀、金剛石量子計算機、任意波形發(fā)生器、數(shù)字延時脈沖發(fā)生器、鎖相放大器
| 背散射電子圖像分辨率 | 1.3nm @ 3 kV,SE | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 二次電子圖象分辨率 | 1.9nm @ 3 kV,BSEnm | 放大倍數(shù) | 66~1,000,000xx |
| 加速電壓 | 100 V~6 kV(減速模式)kV | 價格區(qū)間 | 700萬-1500萬 |
| 儀器種類 | 熱場發(fā)射 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,電子 |
高速掃描電子顯微鏡 HEM6000
HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了高速圖像采集和成像，同時保證了納米級分辨率。面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。
核心技術(shù)
高速掃描電子顯微鏡產(chǎn)品優(yōu)勢
高速自動化
全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍
低壓高分辨
樣品臺減速技術(shù)，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率
大場低畸變
跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變
應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用案例
大規(guī)模成像
高速掃描電子顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)
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