Wafer XRD-200 晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)Wafer XRD
- 公司名稱 束蘊儀器(上海)有限公司
- 品牌 Freiberg Instruments
- 型號 Wafer XRD-200
- 產地 德國
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/9/12 9:15:14
- 訪問次數(shù) 2230
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價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 雙晶衍射 |
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應用領域 | 化工,能源,電子,航天,電氣 |
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)Wafer XRD的特點:
◇ 自動化的晶圓處理和分類系統(tǒng)(例如:盒到盒)。
◇ 晶體取向和電阻率測量
◇ 晶片的幾何特征(缺口位置、缺口深度、缺口開口角度、直徑、平面位置和平面長度)的光學測定
◇ 未拋光的晶圓和鏡面的距離測量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)Wafer XRD的Omega-scan方法:
◇ 高的精度
◇ 測量速度: < 5秒/樣品
◇ 易于集成到工藝線中
◇ 典型的標準偏差傾斜度(例如:Si 100): < 0.003 °,小于< 0.001 °。
全自動化的晶圓分揀和處理系統(tǒng)
Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
主要里程碑:
◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞瑟·布拉達切克和他的兒子漢斯·布拉達切克創(chuàng)立。
◆ 1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計數(shù)裝置,名為 COUNTIX 130。
◆ 1989 - 開發(fā) Omega-Scan 方法
BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統(tǒng) - 振蕩器產量從 50% 提高到 95%
◆ 2005 - 將 Omega 轉移到其他材料,如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金
◆ 2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM )
全球售出 約 150臺石英分選系統(tǒng)
◆ 2015 - X 射線技術和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH
傳承60年德國工匠精神-三代X射線工程師