化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>原子層沉積設(shè)備>QBT-T 雙腔體高真空等離子體原子層沉積系統(tǒng)
QBT-T 雙腔體高真空等離子體原子層沉積系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 廈門(mén)韞茂科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) QBT-T
- 產(chǎn)地 廈門(mén)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/8/22 13:46:19
- 訪問(wèn)次數(shù) 1700
產(chǎn)品標(biāo)簽
聯(lián)系方式：蘇治鵬18396591470 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
一、核心參數(shù)：
產(chǎn)地類(lèi)別：國(guó)產(chǎn)原子層沉積系統(tǒng)（ALD）
襯底尺寸：6寸
工藝溫度：RT-300℃
前驅(qū)體數(shù)：最大可包括3組等離子體反應(yīng)氣體，8組液體或固體反應(yīng)前驅(qū)體
重量：300KG
尺寸(WxHxD)：1400*1000*1900mm
均勻性：99%
二、原子層沉積（Atomiclayerdeposition)是通過(guò)將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)腔體內(nèi)并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種技術(shù)，具有自限性和自飽和。原子層沉積技術(shù)主要應(yīng)用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無(wú)針孔、高保形的納米薄膜。
三、產(chǎn)品描述：
廈門(mén)韞茂科技公司的雙腔體高真空等離子體原子層沉積系統(tǒng)（QBT-T），設(shè)備采用雙腔體設(shè)計(jì)，腔體之間可實(shí)現(xiàn)獨(dú)立控制，雙倍產(chǎn)出。腔體分別為PEALD腔室，粉末ALD腔室。由于雙腔體雙功能的設(shè)計(jì)，使設(shè)備可以在平片上實(shí)現(xiàn)等離子體ALD的生長(zhǎng)工藝以及粉末ALD包覆工藝，設(shè)備配有獨(dú)立控制的300℃完整加熱反應(yīng)腔室系統(tǒng)，保證工藝溫度均勻。該系統(tǒng)具有粉末樣品桶、晶圓載盤(pán)、全自動(dòng)溫度控制、ALD前驅(qū)體源鋼瓶、自動(dòng)溫度控制閥、工業(yè)級(jí)安全控制，以及現(xiàn)場(chǎng)RGA、QCM、臭氧發(fā)生器、手套箱、極片架等設(shè)計(jì)選項(xiàng)。是*能源材料、催化劑材料、新型納米材料,半導(dǎo)體領(lǐng)域研究與應(yīng)用的最佳研發(fā)工具之一。
四、廈門(mén)韞茂科技有限公司為您提供雙腔體高真空等離子體原子層沉積系統(tǒng)QBT-T的參數(shù)、價(jià)格、型號(hào)、原理等信息，QBT-T產(chǎn)地為福建、品牌為韞茂，型號(hào)為QBT-T，價(jià)格為100萬(wàn)-200萬(wàn)RMB，更多相關(guān)信息可咨詢，公司客服電話7*24小時(shí)為您服務(wù)。
五、技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)地類(lèi)別：國(guó)產(chǎn)原子層沉積系統(tǒng)（ALD）
襯底尺寸：6寸
工藝溫度：RT-300℃
前驅(qū)體數(shù)：最大可包括3組等離子體反應(yīng)氣體，8組液體或固體反應(yīng)前驅(qū)體
重量：300KG
尺寸(WxHxD)：1400*1000*1900mm
均勻性：99%
二、原子層沉積（Atomiclayerdeposition)是通過(guò)將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)腔體內(nèi)并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種技術(shù)，具有自限性和自飽和。原子層沉積技術(shù)主要應(yīng)用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無(wú)針孔、高保形的納米薄膜。
三、產(chǎn)品描述：
廈門(mén)韞茂科技公司的雙腔體高真空等離子體原子層沉積系統(tǒng)（QBT-T），設(shè)備采用雙腔體設(shè)計(jì)，腔體之間可實(shí)現(xiàn)獨(dú)立控制，雙倍產(chǎn)出。腔體分別為PEALD腔室，粉末ALD腔室。由于雙腔體雙功能的設(shè)計(jì)，使設(shè)備可以在平片上實(shí)現(xiàn)等離子體ALD的生長(zhǎng)工藝以及粉末ALD包覆工藝，設(shè)備配有獨(dú)立控制的300℃完整加熱反應(yīng)腔室系統(tǒng)，保證工藝溫度均勻。該系統(tǒng)具有粉末樣品桶、晶圓載盤(pán)、全自動(dòng)溫度控制、ALD前驅(qū)體源鋼瓶、自動(dòng)溫度控制閥、工業(yè)級(jí)安全控制，以及現(xiàn)場(chǎng)RGA、QCM、臭氧發(fā)生器、手套箱、極片架等設(shè)計(jì)選項(xiàng)。是*能源材料、催化劑材料、新型納米材料,半導(dǎo)體領(lǐng)域研究與應(yīng)用的最佳研發(fā)工具之一。
四、廈門(mén)韞茂科技有限公司為您提供雙腔體高真空等離子體原子層沉積系統(tǒng)QBT-T的參數(shù)、價(jià)格、型號(hào)、原理等信息，QBT-T產(chǎn)地為福建、品牌為韞茂，型號(hào)為QBT-T，價(jià)格為100萬(wàn)-200萬(wàn)RMB，更多相關(guān)信息可咨詢，公司客服電話7*24小時(shí)為您服務(wù)。
五、技術(shù)參數(shù)：
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)