SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀
- 公司名稱 上海奧法美嘉生物科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/31 18:51:32
- 訪問次數(shù) 3452
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納米粒度儀,顆粒計數(shù)器,不溶性微粒檢測儀,在線粒度檢測儀,高壓微射流均質(zhì)機,Zeta電位與粒徑分析儀,大乳粒分析儀,粒度儀,激光粒度儀,納米激光粒度儀
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀
SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀為工程師提供了準(zhǔn)確性、可靠性和靈活性的過程監(jiān)控,可以提高效率、保證晶圓制造的一致性,以滿足更高的良率和容錯的要求。在競爭激烈的微電子工業(yè)中,如果不使用復(fù)雜的監(jiān)測和控制來確保晶圓制造的一致性,晶圓的制造成本將大大提高。
我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀允許定量化學(xué)濃度。全在線化學(xué)監(jiān)測能夠?qū)崟r校正溶液成分,從而穩(wěn)定控制工藝條件、保持產(chǎn)品的一致性。
監(jiān)控工藝過程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量??赡苡绊懏a(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測時會立即顯現(xiàn)出來,并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。
產(chǎn)品選項
• 多個樣本點
• 額外的5 mL數(shù)字滴定管
• 附加傳感器
• 安全聯(lián)鎖裝置
• 試劑低液位檢測
優(yōu)勢
• 增加工具產(chǎn)量
• 降低化學(xué)品成本
• 實時過程監(jiān)控
• 降低批量損失
• 降低所有者成本
應(yīng)用
• 銅化學(xué)機械拋光
• 鎢化學(xué)機械拋光
• 濕法蝕刻
• 清潔
• DSP+
• 氮化物蝕刻
• PAN蝕刻
• 食人魚蝕刻
• HF
產(chǎn)品特點
• 4個4-20 mA 模擬輸出
• 8個可編程繼電器
• 以太網(wǎng)和 RS232 串口
• 彩色觸摸屏
• 集成試劑儲存
• 單采樣點
• 1個5mL數(shù)顯滴定管
• 多個傳感器輸入
規(guī)格
分析方法 | 電位法/標(biāo)準(zhǔn)加入法/光度法 |
精確度1 | ±0.2%顯示值 |
誤差度1 | 0.2%相對誤差 |
測量時間 | 少于5分鐘/分析(取決于應(yīng)用) |
校準(zhǔn)頻率 | 自開始起2 |
樣品消耗量 | 小于 5 mL/次 |
樣品量 | 0.05 至 5 mL(取決于應(yīng)用) |
樣品溫度 | 低于93℃(200℉) |
耗水量 | 少于1000mL/次 |
樣品入口/返回 | 小于30 psi |
0.5升/分鐘 | |
1/4”外徑擴口接頭 | |
1”FPT 密封聯(lián)軸器 | |
去離子水 | 20-40 psi |
2升/分鐘 | |
1/4”外徑擴口接頭 | |
CDA | 60-80 psi |
1/4”外徑快速接頭 | |
過程排放 | 3/4”NPT 重力排放 |
機箱排水 | 1/2”NPT 重力排放 |
電源 | 110 /220 VAC,50 /60 Hz,1 /0.5A 現(xiàn)場可切換 |
排水 | 1 7 /8” OD @ 17 CFM |
外形尺寸 | 39.00”H x 27.00”W x 16.00”D |
1僅指“硬件”。應(yīng)用、化學(xué)和工藝條件等外部因素會影響系統(tǒng)準(zhǔn)確度和精密度。
2這不包括 pH 傳感器的校準(zhǔn)。有關(guān)詳細信息,請參閱安裝和操作手冊。Entegris 相信此處包含的數(shù)據(jù)是真實的,所表達的意見是合格專家對所進行測試的結(jié)果的看法,這些數(shù)據(jù)不應(yīng)被視為 Entegris 承擔(dān)法律責(zé)任的保證或陳述。提供的數(shù)據(jù)僅供考慮、調(diào)查和驗證。對這些數(shù)據(jù)和信息的任何使用都必須由用戶決定,以符合聯(lián)邦、州和當(dāng)?shù)氐姆煞ㄒ?guī)。所有規(guī)格如有更改,恕不另行通知。
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