PLUTO-160 等離子體表面處理儀/清洗機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 上海沛沅儀器設備有限公司
- 品牌 PLUTOVAC
- 型號 PLUTO-160
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/10/17 16:13:43
- 訪問次數(shù) 2298
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產地類別 | 國產 | 功率 | 1000W |
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價格區(qū)間 | 30萬-50萬 | 控制方式 | 自動 |
氣路 | 2 | 射頻頻率 | 13.56MHzGhz |
樣品腔材質 | 不銹鋼 | 樣品腔尺寸 | 51.8*51.8*64.8cm |
樣品腔容積 | 170L | 應用領域 | 化工,生物產業(yè),電子,制藥,綜合 |
PLUTO-160等離子體表面處理儀/清洗機產品特點:
• 13.56MHz射頻電源與自動匹配系統(tǒng),具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復性
• 靈活的電極結構設置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案,確保大批量處理的均勻性
• PLC與工控機提供穩(wěn)定的過程控制,設備運行的實時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)
• 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,易于保養(yǎng)與維護
標準腔體電極為平行板電極結構,通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果
最多支持擴展至8片電極
每對電極間為獨立空間
批處理電極改變了標準的平行板電極結構
通過優(yōu)化的電場和進氣設計實現(xiàn)對magazi和boat等載具內產品的均勻處理。
PLUTO-160等離子體表面處理儀/清洗機應用:
• 表面清潔與活化
• 表面有機污染物與金屬氧化物的去除
• 增強表面膠體流動性,消除涂層分層
• 提升表面能,實現(xiàn)難粘材料的有效結合
• 表面粗化及微刻蝕
• 納米級表面粗化,應力釋放
• 光刻膠、殘膠的去除
• 對多種材料的選擇性刻蝕