靶材材質(zhì) | au/pt/pd | 靶材尺寸 | 50mm |
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
濺射氣體 | 空氣/Ar | 控制方式 | 觸摸屏 |
樣品倉(cāng)尺寸 | 150*120mm | 樣品臺(tái)尺寸 | φ80mm |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,紡織皮革,制藥,綜合 |
技術(shù)規(guī)格 | 參數(shù) |
泵組 | 真空旋片泵 |
抽速 | ≥4m3/h |
極限真空 | <1 Pa |
工作氣壓 | 4 -10 Pa,可恒壓控制 |
抽真空時(shí)間 | <3-5 Min |
真空規(guī) | 皮拉尼真空計(jì) |
樣品腔室尺寸 | ~? 150 *110 mm 耐劃傷石英玻璃 標(biāo)配全鋁腔體自動(dòng)旋轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)樣品臺(tái) |
磁控濺射靶 | 靶材尺寸 ? 50 *0.2 mm |
濺射電源 | 恒功率磁控DC濺射電源 Max. 20W ,Max. 100 mA,0-800 V DC |
濺射時(shí)間 | 可程序設(shè)定 |
操作方式 | 觸摸屏控制 |
重量 | ~20 kg |
尺寸 | ~400 mm長(zhǎng) *337mm深 *346 mm高 |
電源 | 100-220V AC,50/60Hz 接地三腳插頭 |
功耗 | <500 W |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
質(zhì)量保證 | 一年免費(fèi)/終身維護(hù) |
備注 | 以上所列技術(shù)規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知,如有疑問請(qǐng)聯(lián)系我們 |