KT-Z1650PVD 桌面式小型磁控濺射儀
- 公司名稱 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 鄭科探
- 型號 KT-Z1650PVD
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/3/27 15:03:30
- 訪問次數(shù) 1406
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靶材尺寸 | 50mm | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 面議 | 濺射氣體 | 氬氣 |
樣品倉尺寸 | 160mm | 樣品臺尺寸 | 50mm |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
桌面式小型磁控濺射儀
KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。
儀器描述:該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機,能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑?span>Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內(nèi)即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊,全自動控制,設(shè)計符合人體工程學,所得結(jié)果一致,可重復(fù)性高。
桌面式小型磁控濺射儀技術(shù)參數(shù);
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |