密閉容器進氣排氣專用雙閥壓力控制器EPCD
- 公司名稱 北京精量科技有限公司
- 品牌 Accu
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/8/6 10:24:02
- 訪問次數(shù) 2870
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,電氣,綜合 | 精度 | ≤±0.5%F.S |
|---|
一、密閉容器進氣排氣專用雙閥壓力控制器EPCD產(chǎn)品概述：
-- ACU20PCD雙閥壓力控制器集成兩個電磁閥，進氣閥將過程氣體引入腔體，保持密閉空間的壓力，壓力過高時，泄
壓閥自行打開進行泄壓，快速精準地控制壓力的穩(wěn)定，同時避免氣體浪費。無需使用排氣閥便能實現(xiàn)密閉或者端閉容器內(nèi)
的壓力控制。
-- ACU20PCD雙閥壓力控制器標配一個壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制，該PC數(shù)
字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標準的RS485輸出信號，還提供模擬量輸入/出信號，可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就
能精準的控制整個工藝過程。同時，可觸控顯示屏使操作更加便捷。
-- ACU20PCD雙閥壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控
制的特性。我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標準的直接操控閥，高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥，穩(wěn)
壓和泄壓應(yīng)用雙閥。
二、產(chǎn)品應(yīng)用：
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研實驗、生物醫(yī)藥、能源化工、泄漏測試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。
三、密閉容器進氣排氣專用雙閥壓力控制器EPCD 產(chǎn)品參數(shù)：（ 如所需性能參數(shù)與下述不同，請溝通定制。）
| 技術(shù)參數(shù) | 精度(包括線性和滯后性) | ≤±0.5%F.S | ||||
| 壓力量程比 | 1:100 | |||||
| 重復(fù)性 | ≤0.1% | |||||
| 傳感器響應(yīng)時間 | 0.2s | |||||
| 控制穩(wěn)定性 | ≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2) | |||||
| 運行溫度 | -10~+70℃ | |||||
| 溫度敏感性 | 0.1%FS/℃ | |||||
| 漏率 | 1×10-9 SCCS He | |||||
| 方位影響度 （90°變化） | ＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器） | |||||
| ＜0.6 KPa（差壓傳感器） | ||||||
| 預(yù)熱時間 | 忽略不計 | |||||
| 機械部件 | 材質(zhì) | 不銹鋼 | ||||
| 工藝連接 | G3/8" | |||||
| 密封材質(zhì) | 氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他 | |||||
| 防護等級（外殼） | IP40 | |||||
| 電氣特性 | 電源 | 15~24Vdc | ||||
| 數(shù)字輸出 | RS485/RS232 Modbus等協(xié)議 | |||||
| 電氣連接 | DB9 | |||||
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