KT-Z1650PVD 水冷型濺射儀
- 公司名稱 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 鄭科探
- 型號(hào) KT-Z1650PVD
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/3/27 15:04:05
- 訪問次數(shù) 1374
聯(lián)系方式:裴勇15136134901 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 等 | 靶材尺寸 | 50mm |
---|---|---|---|
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
濺射氣體 | 根據(jù)需求通氣 | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉(cāng)尺寸 | φ160x160mm | 樣品臺(tái)尺寸 | 50mm |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,是一種緊湊型全自動(dòng)濺射鍍膜機(jī),使用非常簡(jiǎn)單。由于*的插件概念,該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā),只需更換工藝頭。涂層前后可進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計(jì)使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。
高度調(diào)節(jié)和傾斜。它可以安裝一個(gè)可選的變速旋轉(zhuǎn)階段或旋轉(zhuǎn)行星階段,每個(gè)選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段,膜厚監(jiān)測(cè)都作為標(biāo)準(zhǔn)。.
•高性能濺射、碳涂層和等離子處理
•獲得的碳線軸–最多50個(gè)碳涂層,無需用戶干預(yù)
•*的即插即用濺射和碳涂層模塊
•真空性能和快速泵送時(shí)間
水冷型濺射儀,技術(shù)參數(shù);
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺(tái) | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |