LSM900共聚焦顯微鏡系統(tǒng)使用激光作為光源，采集樣品一定光切厚度的激光反射信號(hào)，并在三維高度上進(jìn)行掃描得到光切面的圖像堆棧。光路中設(shè)置有小尺寸的光欄(通常稱為針孔)，該針孔僅允許焦平面的光線通過(guò)，阻擋非焦平面的光線進(jìn)入探測(cè)器。

　　為了對(duì)光切面進(jìn)行成像，還需要控制激光束進(jìn)行X、Y方向的掃描。掃描的時(shí)候，焦平面的信息會(huì)呈現(xiàn)亮色，而非焦平面的信息會(huì)呈現(xiàn)黑色。

　　移動(dòng)樣品和物鏡的相對(duì)位置，就可以以無(wú)損方式得到一系列沿高度方向上的光切面圖像堆棧。

　　分析水平圖像上單個(gè)像素位置在高度上的亮度變化曲線，就可以得到當(dāng)前像素位置的物體高度值。綜合整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)所有像素位置的高度信息就可以形成測(cè)試面積上的高度分布云圖。

　　物鏡

　　共聚焦專用C Epiplan-APOCHROMAT高性能物鏡

　　使用復(fù)消色差平視場(chǎng)校正C Epiplan-APOCHROMAT系列物鏡，可以更好地滿足反射光應(yīng)用的嚴(yán)苛要求。

　　該系列物鏡可以保證在可見(jiàn)光譜范圍內(nèi)具有出色的成像對(duì)比度，以及高透過(guò)率。

　　同時(shí)還可以在寬場(chǎng)觀察模式下得到很好的微分干涉效果，以及清晰的熒光圖像。

　　C Epiplan-APOCHROMAT物鏡專為共聚焦成像設(shè)計(jì)，在使用激光波長(zhǎng)405 nm的情況下，能夠?qū)崿F(xiàn)全視野中最小的像差。使用這一物鏡能夠以更少的干擾噪聲和偽影來(lái)產(chǎn)生更好的形貌數(shù)據(jù)，進(jìn)而呈現(xiàn)更多樣品表面細(xì)節(jié)。

　　軟件

　　OAD：ZEN成像軟件的接口

　　蔡司LSM包含新版本的ZEN成像軟件，其中包括用于數(shù)據(jù)交換的開(kāi)放式應(yīng)用程序開(kāi)發(fā)(OAD)接口。

　　自定義和自動(dòng)化您的工作流程。當(dāng)基礎(chǔ)版ZEN軟件無(wú)法滿足您的需求時(shí)， 您可以使用已建立的第三方分析和研究軟件(如MATLAB)交換數(shù)據(jù)。

　　您可自行創(chuàng)建宏解決方案。輕松獲得ZEN的一系列重要功能，等元件庫(kù)的能力。

　　用ConfoMap進(jìn)行3D表面分析

　　ConfoMap是實(shí)現(xiàn)3D表面形貌顯示和分析的理想選擇。

　　根據(jù)新的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行表面性能的質(zhì)量與功能評(píng)估，。

　　您可以在軟件中對(duì)圖像進(jìn)行綜合幾何形狀、功能性和粗糙度研究，以及創(chuàng)建詳細(xì)的表面分析報(bào)告。

　　新增可選模塊用于高級(jí)表面紋理分析、輪廓分析、晶粒與顆粒分析、3D 傅立葉分析及表面進(jìn)化分析和統(tǒng)計(jì)。