渦流法電阻率測(cè)試儀
- 公司名稱 九域半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/11/23 10:59:08
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樣品尺寸:2"-8"或者16mm×16mm的方形樣品;
遷移率測(cè)量范圍:100-20000(cm2/v.sec);
方塊電阻測(cè)量范圍:100-3000(ohm/sq);
載流子面密度測(cè)量范圍:1E11-1E14(cm-2);
電磁鐵磁場(chǎng)強(qiáng)度:1.0T
探頭線圈直徑:15mm
專注于非接觸式半導(dǎo)體計(jì)量分析技術(shù)的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn) ,攻克被國(guó)外卡脖子技術(shù)。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、科研以及平板材料測(cè)試領(lǐng)域。借助公司*計(jì)量分析測(cè)試技術(shù),為晶圓、碳化硅、硅片、封裝測(cè)試等生產(chǎn)和品質(zhì)監(jiān)控,提供一整套完整測(cè)試和解決方案。
晶圓電阻率測(cè)試儀,硅片電阻率測(cè)試儀,渦流法低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,遷移率(霍爾)測(cè)試儀,少子壽命測(cè)試儀,
電阻有一個(gè)特性,即任意大小的正方形測(cè)量值都是一樣的,不管邊長(zhǎng)是1米還是0.1米,它們的方阻都是一樣,這樣方阻僅與導(dǎo)電膜的厚度等因素有關(guān),表征膜層致密性,同時(shí)表征對(duì)熱紅外光譜的透過(guò)能力,方塊電阻測(cè)量數(shù)值愈大,則隔離熱紅外性能越差,方塊電阻測(cè)量數(shù)值愈小則隔離熱紅外性能越好,對(duì)于建筑行業(yè)來(lái)講低輻射玻璃的熱紅外性能測(cè)量的快速測(cè)量就必須選用方塊電阻測(cè)量?jī)x,測(cè)量值愈小則建筑材料就愈節(jié)能,在建筑材料行業(yè)具有很大的作用
渦流法電阻率測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)
參數(shù) | 方阻(電阻率)(厚度 約125μm) | ||
探頭量程 |
8- 2500 Ω/sq(0.1-30 Ω?cm)可擴(kuò)展到100Ω?cm | ||
探頭性能 | 動(dòng)態(tài)重復(fù)性 | 靜態(tài)重復(fù)性 | 示值誤差 |
測(cè)試條件:采樣率 250SPS(4ms),60 個(gè)點(diǎn)/每次 | |||
008-160Ω/sq(0.1- 2 Ω?cm) < 0.3% | <0.05% | ≤±3% | |
160-800Ω/sq(2 - 10 Ω?cm)< 0.5% | <0.1% | ≤±3% | |
800-2500Ω/sq(10 - 30 Ω?cm)< 0.5 % | <0.2% | ≤±3% | |
外形尺寸 | 上探頭:Ф20×145mm | 下探頭:Ф20×100mm | 控制盒:173×130×55mm |
信號(hào)采集 | 采樣率:≤1ms,采集數(shù)據(jù)>300點(diǎn) | ||
數(shù)據(jù)接口:RS232 RS485 CAN TCP/IP | |||
傳輸協(xié)議:Modbus Rtu/ Modbus Tcp、用戶自定義 SOCKET 協(xié)議等 | |||
自動(dòng)溫度補(bǔ)償系統(tǒng) | |||
原始信號(hào)可公開(kāi) |
參數(shù) |
PN |
外形尺寸 | Ф25*99mm |
電阻率范圍 | 樣品電阻率范圍:0.02-3000Ω?cm |
信號(hào)采集 | 采樣率:60sps - 1000sps(1ms - 16ms/點(diǎn)),默認(rèn)4ms |
采樣數(shù)據(jù):**200個(gè)點(diǎn),默認(rèn)100點(diǎn) | |
光源特性 | 理論壽命> 10年 頻率可調(diào):1KHz - 100KHz,可避免機(jī)臺(tái)同頻干擾 |
PN測(cè)試原理
用能量大于半導(dǎo)體材料禁帶寬度的單色光照射在半導(dǎo)體材料表面,在其內(nèi)部產(chǎn)生電子-空穴對(duì),受濃度梯度驅(qū)動(dòng)擴(kuò)散至半導(dǎo)
體材料近表面空間電荷區(qū)的電子和空穴將被自建電場(chǎng)分離,形成光生電壓,即表面光電壓。
N型和P型半導(dǎo)體材料在光誘導(dǎo)下,表面勢(shì)壘高度的變化過(guò)程
與進(jìn)口儀器相關(guān)性及重復(fù)性對(duì)比(來(lái)源于客戶測(cè)試)
電阻率探頭——相關(guān)性系數(shù)R2=0.9996
電阻率探頭——穩(wěn)定性
樣片1 | 樣片2 | |||||||||||
進(jìn)口*** | 九域 | 進(jìn)口*** | 九域 | |||||||||
No. | Ave | Max | Min | Ave | Max | Min | Ave | Max | Min | Ave | Max | Min |
1 | 0.376 | 0.385 | 0.312 | 0.375 | 0.383 | 0.318 | 0.64 | 0.648 | 0.542 | 0.636 | 0.643 | 0.547 |
2 | 0.377 | 0.386 | 0.311 | 0.375 | 0.383 | 0.317 | 0.64 | 0.649 | 0.541 | 0.636 | 0.643 | 0.546 |
3 | 0.376 | 0.386 | 0.311 | 0.375 | 0.384 | 0.318 | 0.641 | 0.647 | 0.541 | 0.634 | 0.642 | 0.546 |
4 | 0.378 | 0.386 | 0.314 | 0.376 | 0.384 | 0.319 | 0.642 | 0.642 | 0.542 | 0.635 | 0.646 | 0.542 |
5 | 0.377 | 0.385 | 0.314 | 0.375 | 0.383 | 0.316 | 0.639 | 0.647 | 0.545 | 0.635 | 0.644 | 0.545 |
6 | 0.376 | 0.382 | 0.315 | 0.375 | 0.383 | 0.318 | 0.64 | 0.649 | 0.542 | 0.636 | 0.645 | 0.545 |
7 | 0.378 | 0.384 | 0.311 | 0.375 | 0.383 | 0.317 | 0.642 | 0.648 | 0.543 | 0.636 | 0.644 | 0.545 |
8 | 0.378 | 0.384 | 0.311 | 0.375 | 0.384 | 0.316 | 0.641 | 0.648 | 0.541 | 0.635 | 0.644 | 0.544 |
9 | 0.377 | 0.382 | 0.313 | 0.375 | 0.384 | 0.318 | 0.64 | 0.647 | 0.542 | 0.635 | 0.643 | 0.546 |
10 | 0.376 | 0.383 | 0.313 | 0.376 | 0.384 | 0.318 | 0.641 | 0.648 | 0.545 | 0.635 | 0.645 | 0.544 |
Rsd | 0.232% | 0.408% | 0.483% | 0.112% | 0.137% | 0.306% | 0.151% | 0.309% | 0.278% | 0.106% | 0.186% | 0.259% |
% | 0.00% | 0.26% | 1.60% | -0.94% | -0.46% | -0.18% |
樣片3 | 樣片4 | |||||||||||
進(jìn)口*** | 九域 | 進(jìn)口*** | 九域 | |||||||||
No. | Ave | Max | Min | Ave | Max | Min | Ave | Max | Min | Ave | Max | Min |
1 | 1.251 | 1.285 | 0.972 | 1.26 | 1.271 | 0.965 | 2.005 | 2.011 | 1.689 | 1.992 | 2.002 | 1.666 |
2 | 1.25 | 1.278 | 0.971 | 1.257 | 1.272 | 0.968 | 2.006 | 2.011 | 1.687 | 1.992 | 2.001 | 1.654 |
3 | 1.251 | 1.277 | 0.969 | 1.256 | 1.271 | 0.967 | 2.001 | 2.008 | 1.698 | 1.993 | 2.003 | 1.653 |
4 | 1.248 | 1.287 | 0.966 | 1.258 | 1.268 | 0.968 | 2.002 | 2.015 | 1.688 | 1.991 | 2.005 | 1.655 |
5 | 1.247 | 1.283 | 0.964 | 1.258 | 1.274 | 0.962 | 2.006 | 2.018 | 1.687 | 1.992 | 2.002 | 1.665 |
6 | 1.252 | 1.281 | 0.963 | 1.258 | 1.274 | 0.962 | 2.004 | 2.019 | 1.685 | 1.997 | 2.001 | 1.653 |
7 | 1.250 | 1.282 | 0.962 | 1.259 | 1.271 | 0.965 | 2.008 | 2.021 | 1.697 | 1.992 | 2.009 | 1.653 |
8 | 1.252 | 1.282 | 0.964 | 1.257 | 1.272 | 0.960 | 2.008 | 2.035 | 1.683 | 1.998 | 2.01 | 1.658 |
9 | 1.252 | 1.284 | 0.968 | 1.256 | 1.274 | 0.966 | 2.009 | 2.021 | 1.682 | 1.996 | 2.01 | 1.655 |
10 | 1.253 | 1.277 | 0.97 | 1.255 | 1.271 | 0.965 | 2.004 | 2.022 | 1.685 | 1.992 | 2.008 | 1.659 |
Rsd | 0.152% | 0.266% | 0.370% | 0.120% | 0.147% | 0.280% | 0.131% | 0.381% | 0.320% | 0.126% | 0.189% | 0.295% |
% | 0.16% | -0.47% | -0.52% | -0.60% | -0.69% | -1.54% |
光伏探頭——穩(wěn)定性(該產(chǎn)品在光伏領(lǐng)域已成功上市,穩(wěn)定測(cè)試超過(guò)20億片)
高值樣品九域測(cè)試結(jié)果
出廠檢測(cè)報(bào)告