全自動(dòng)/軌道式去膠剝離機(jī)
- 公司名稱 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/19 13:22:08
- 訪問次數(shù) 2408
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紫外可見分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 | 設(shè)備配置 | 1套浸泡單元、1套剝離單元 |
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浸泡模塊處理晶圓數(shù)量 | 25片 | 剝離單元主軸旋轉(zhuǎn)速度范圍 | 20-3000rpm |
加速度范圍 | 20-5000rpm/s | 剝離噴嘴類型 | 高壓或扇形噴嘴 |
設(shè)備尺寸 | 1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H) |
全自動(dòng)/軌道式去膠剝離機(jī)
產(chǎn)品介紹
適用于8英寸及以下規(guī)格晶圓的去膠剝離工藝(Liftoff工藝)
不銹鋼柜體,觸摸式人機(jī)交互界面
耐腐蝕透明觀察窗,配置專業(yè)排風(fēng)及排廢系統(tǒng)
8寸以下化合物(鉭酸鋰等)全自動(dòng)去膠剝離工藝處理
適合聲表濾波器(SAW)行業(yè)產(chǎn)能要求適中的批量產(chǎn)線
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊
產(chǎn)品參數(shù)
white:
設(shè)備配置:1套浸泡單元、1套剝離單元
浸泡模塊處理晶圓數(shù)量:25片
剝離單元主軸旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-3000rpm
加速度范圍:20-5000rpm/s
剝離噴嘴類型:高壓或扇形噴嘴
設(shè)備尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)