URE-2000/35型紫外光刻機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 安徽智微科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/6/4 13:41:28
- 訪問次數(shù) 6029
產(chǎn)品標簽
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價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 微流控芯片系統(tǒng) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子 |
產(chǎn)品名稱:URE-2000/35型紫外光刻機
主要技術(shù)指標:
曝光面積:100mm×100mm
分辨力:1um(膠厚1.5μm的正膠)
對準精度:±0.8μm
大膠厚:300μm(SU8膠)
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);
照明均勻性:±4%(Ф100mm 范圍)
汞燈功率:350W(直流)
掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
URE-2000/35型紫外光刻機技術(shù)特點:
創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制;采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明;可連續(xù)設(shè)定分離間隙;采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。