NX-B100/200 納米壓印
- 公司名稱(chēng) 上海跡亞國(guó)際商貿(mào)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) NX-B100/200
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2021/6/2 9:51:02
- 訪問(wèn)次數(shù) 826
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生命科學(xué)，實(shí)驗(yàn)動(dòng)物研究，藥物開(kāi)發(fā)，有機(jī)合成，材料科學(xué)/納米技術(shù)，清潔能源研究
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè) |
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NX-B100/B200整片基板納米壓印系統(tǒng)經(jīng)過(guò)了大量的實(shí)時(shí)實(shí)地驗(yàn)證，質(zhì)量可靠，性能*穩(wěn)定。具備全部壓印模式：熱固化、紫外固化和壓印?；?保護(hù)的Nanonex氣墊軟壓技術(shù)（ACP），不論模版或基板背面粗糙程 度如何，或是模版或基板表面波浪和弧形結(jié)構(gòu)，NX-B100/B200均可對(duì)其校 正補(bǔ)償從而獲得的壓印均勻性， ACP消除了基板與模版之間側(cè)向偏移，有效地延長(zhǎng)了模版使用壽命。通過(guò)微小熱容設(shè)計(jì)可獲得快速的熱壓印周 期，終得到快速的工藝循環(huán)，適用于小于4英寸的晶圓片。
所有形式的
? 熱塑化
? 紫外固化 (NX-B200)
? 熱壓與紫外壓印同時(shí)進(jìn)行(NX-B200)
? 熱固化
氣墊軟壓技術(shù)(ACP)
? Nanonex技術(shù)
? 完美的整片基板均勻性
? 高通量
低于10nm分辨率
快速工藝循環(huán)時(shí)間（小于60秒） 靈活性
? 大75毫米直徑壓印面積 ? 各種尺寸及不規(guī)則形狀模
板與基板均可壓印
方便用戶操作
基于超過(guò)12年、15代產(chǎn)品開(kāi)發(fā) 經(jīng)驗(yàn)的自動(dòng)化壓印操作
Nanonex壓印系統(tǒng)經(jīng)過(guò)大量實(shí) 時(shí)實(shí)地驗(yàn)證，質(zhì)量可靠，性 能*穩(wěn)定
全自動(dòng)納米壓印
技術(shù)參數(shù)
熱塑壓印模塊（NX-B100/B200）
● 溫度范圍0～250℃
● 加熱速度>200℃/分鐘
● 制冷速度>60℃/分鐘
● 壓力范圍0 ～ 3.45 MPa（500 psi）
紫外固化模塊（NX-B200）
● 58mW/cm2紫外LED光源
● 365納米或395納米波長(zhǎng)可選
● 全自動(dòng)化控制
模版裝載功能
● 大3″模板可用于標(biāo)配系統(tǒng)
基板裝載
● 標(biāo)配系統(tǒng)可裝載3″基板
● 各種尺寸及不規(guī)則形狀模板與基板均可壓印
● *保護(hù)ACP技術(shù)可大限度保護(hù)模板和基板，特別對(duì) 于象磷化銦（InP）等極易碎模板和基板給予大限度。
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