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EVG 7200 納米壓印 EVG7200 自動(dòng)化SmartNIL UV納米壓印光刻
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) EVG 7200 納米壓印
- 產(chǎn)地 奧地利
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/9/25 14:29:17
- 訪問次數(shù) 1333
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,電氣 |
|---|
EVG®7200 Automated SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography S
EVG®7200 自動(dòng)化SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)
具有EVG專有的SmartNIL®技術(shù)的自動(dòng)全場UV納米壓印解決方案（大200毫米）
技術(shù)數(shù)據(jù)
EVG7200系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術(shù)和EVG的材料專長來實(shí)現(xiàn)微米級(jí)和納米級(jí)結(jié)構(gòu)的批量生產(chǎn)。該系統(tǒng)將SmartNIL的高級(jí)軟印和壓印功能帶到了更大的基板和更小的幾何形狀上，批量生產(chǎn)時(shí)的分辨率低至40 nm *。這帶來了更大的擁有成本（CoO）收益，并實(shí)現(xiàn)了納米壓印光刻技術(shù)的全部制造潛力。
*分辨率取決于過程和模板
特征
體積驗(yàn)證的壓印技術(shù)，具有出色的復(fù)制保真度
專有的SmartNIL®技術(shù)和多次使用的聚合物印模技術(shù)
集成式壓印，UV固化，脫模和工作印模制作
盒帶到盒帶自動(dòng)處理以及半自動(dòng)R＆D模式
可選的頂部對齊
可選的迷你環(huán)境
適用于所有市售壓印材料的開放平臺(tái)
從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴(kuò)展性
系統(tǒng)外殼，可實(shí)現(xiàn)佳過程穩(wěn)定性和可靠性
技術(shù)數(shù)據(jù)
晶圓直徑（基板尺寸）75至200毫米；
解析度≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）
支持流程：SmartNIL®
曝光源：大功率LED（i線）> 400 mW /cm²
對準(zhǔn)：可選的頂部對齊
自動(dòng)分離：支持的
迷你環(huán)境和氣候控制：可選的
工作印章制作：支持的
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