化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設(shè)備>其它實驗室常用設(shè)備>其它實驗室設(shè)備>BTF-1200C-RP-PECVD 連續(xù)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)
BTF-1200C-RP-PECVD 連續(xù)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)
- 公司名稱 安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 BTF-1200C-RP-PECVD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2021/11/11 15:16:22
- 訪問次數(shù) 1422
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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技術(shù)參數(shù)
加熱系統(tǒng)Heating system | |
功率 | 4KW |
電壓 | AC220V 50/60Hz |
zui高溫度 | 1200°C |
使用溫度 | 1100°C |
加熱長度 | 200mm+200mm |
恒溫長度 | 250mm |
| 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié) 智能化30段可編程控制 超溫和斷偶報警功能 操作界面為10 "液晶觸摸屏控制 |
控溫精度 | +/- 1℃ |
爐管尺寸 | Size:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm 尺寸:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm Furnace tube rotation rate:0~60r/min 爐管轉(zhuǎn)速:0~60r/min |
Furnace body inclination angle | 0~35°(adjustable) |
Plasma系統(tǒng) | |
本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。 | T |
進(jìn)料系統(tǒng) | |
送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào),停止送料且爐體傾斜zui大時,物料不會從送料系統(tǒng)外漏,送料系統(tǒng)方便拆卸,拆卸后可手動加料,設(shè)備可正常運行。 | T |
出料系統(tǒng) | |
出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時可自動出料。) | |
氣體控制系統(tǒng) | |
該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的,也可以獨立控制,質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動的機(jī)柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。 | |
低真空系統(tǒng) | |
該系統(tǒng)配備真空機(jī)械泵,可以抽真空,可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應(yīng)。 | |
氣料分離系統(tǒng) | |
該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在充氣體保護(hù)或者抽真空時,實現(xiàn)氣體與物料的分離。 | |
過濾系統(tǒng) | |
該系統(tǒng)可防止物料進(jìn)入真空泵,保證真空泵的正常運行。 | |
爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng) | |
爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運行。 |