化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>KW-4A 中科院微電子臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x/涂膠機(jī)
KW-4A 中科院微電子臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x/涂膠機(jī)
| 參考價(jià) | ￥ 8500 |
| 訂貨量 | ≥1 套 |
- 公司名稱 北京通世華港設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) KW-4A
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2023/11/12 12:49:21
- 訪問(wèn)次數(shù) 7382
聯(lián)系方式：郭經(jīng)理17611117185 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
離心機(jī)、移液器、攪拌器、電子天平、蠕動(dòng)泵、折射儀、分光光度計(jì)、勻膠機(jī)旋涂?jī)x、電化學(xué)儀器、箱體儀器等
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
|---|
中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 KW-4A型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x/涂膠機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
我研究室生產(chǎn)的KW-4A型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號(hào)有KW-4A型和KW-5型。
產(chǎn)品主要特點(diǎn)
1、開(kāi)關(guān)電流調(diào)速，穩(wěn)定性能更好，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。
2、轉(zhuǎn)速在500～8000轉(zhuǎn)／分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后，先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)，使膠攤開(kāi)，然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)，時(shí)間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。
4、具有定時(shí)功能。
5、測(cè)速采用光電的辦法，產(chǎn)生光電脈沖，由晶體分頻測(cè)速準(zhǔn)確性高。
6、"吸片"采用電磁閥控制氣路，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作，適合流水線的工藝，提高了效率。
7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。
性能指標(biāo)：
參數(shù) | 指標(biāo) |
調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間 | Ⅰ檔調(diào)速范圍：500-2000轉(zhuǎn)/分Ⅰ檔勻膠時(shí)間：2-18秒 Ⅱ檔調(diào)速范圍：1300-8000轉(zhuǎn)／分Ⅱ檔勻膠時(shí)間：3-60秒 |
適用 | Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠 |
電機(jī)功率 | 40W |
LED數(shù)字顯示 | 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1％，膠的均勻性：±3％ |
真空泵抽氣速率 | ≥60升／分 |
儀器尺寸 | 210×220×160mm |
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)