靶材材質(zhì) | 金、鉑、銀、銅 | 靶材尺寸 | 57mm |
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
濺射氣體 | 空氣、氬氣、氮氣 | 控制方式 | 直流等離子體 |
樣品倉尺寸 | 120×130mm | 樣品臺尺寸 | 65mm |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,電氣,綜合 |
GVC-1000是于掃描電鏡(SEM)的樣品噴金儀器,能夠極為有效的提供樣品的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性,確保恒沉積速率,減少等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷.顯著提供掃描電鏡觀測結(jié)果。
金顆粒分布的均勻性和顆粒大小,通過場發(fā)射掃描電鏡觀測,不同時間內(nèi)金顆粒分布非常均勻,顆粒度在10-20nm之間
濺射技術(shù)
在電子顯微鏡領(lǐng)域內(nèi),往往需要對樣品進(jìn)行表面鍍膜從而使樣品表面成像或者圖像質(zhì)量得到改善。在樣品表面覆蓋一層導(dǎo)電的金屬薄膜可以消除荷電反應(yīng),降低電子束對樣品表面的熱量損傷,可以提高SEM對樣品進(jìn)行形貌觀察,所需要的二次電子信號量。