蔡司ZEISS METROTOM工業(yè)CT斷層掃描測量機(jī)由于系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)盡可能緊湊，來獲取更高的射線利用率和更佳的圖像質(zhì)量，因此必須結(jié)合不同的工件尺寸來考慮機(jī)器的尺寸。零件尺寸不外乎三種情形：小、大或是兩者兼有。

密度分辨率 - 探測器的密度分辨率，或成為動態(tài)特性，是除了像素尺寸以外的另一個十分重要的參數(shù)，尤其是對于材料缺陷檢測這類應(yīng)用。[3] 它決定了一款探測器能夠探測材料內(nèi)部密度微小變化的能力。相比14位探測器(214階灰度)。

蔡司ZEISS METROTOM工業(yè)CT斷層掃描測量機(jī)一款16位(216階灰度)探測器能夠分辨4倍之多的不同灰度變化。換言之，高位數(shù)的探測器能夠更好地將圖像中的噪聲和有用信息加以區(qū)分。

　　蔡司ZEISS METROTOM工業(yè)CT斷層掃描測量機(jī)在另一方面，X射線管是一個CT系統(tǒng)中為為重要，同時也為昂貴的部件之一。對于檢測小尺寸工件來說，高能量射線管和大尺寸機(jī)器既不實用也不經(jīng)濟(jì)。

　　后也是非常重要的一點，軟件對于工業(yè)CT系統(tǒng)的終性能也起到了非常重要的作用。從圖像獲取、探測器數(shù)據(jù)讀出、A/D轉(zhuǎn)換、三維重建到數(shù)據(jù)評價，每一步都包含了復(fù)雜的算法和大量的計算。好的軟件能夠使系統(tǒng)各個部件很好地協(xié)同工作，并發(fā)揮出系統(tǒng)的性能。

工業(yè)CT的硬件決定了這個系統(tǒng)理論上的性能極限，而軟件則決定了系統(tǒng)終達(dá)到的實際性能。由于工業(yè)CT系統(tǒng)越來越多地用于幾何尺寸與形位公差測量，測量軟件的選擇也成為了一個關(guān)鍵因素。

蔡司ZEISS METROTOM工業(yè)CT斷層掃描測量機(jī)對于幾何尺寸與形位公差測量，其要求不同于其它檢測，只有經(jīng)過專業(yè)機(jī)構(gòu)認(rèn)證的測量軟件才能保證可靠的測量結(jié)果。