產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格介紹

NT-60-PSP中型等離子清洗機(jī)規(guī)格

主要技術(shù)參數(shù)：
1) 整機(jī)外形尺寸（約）: 900W×1700H×1000D（mm） 外觀噴塑處理；
2) 反應(yīng)倉尺寸： W450mm×H300mm×D450mm；
3) 電源：主系統(tǒng)電源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz～60Hz  三相五線
4) 等離子體頻率：13.56MHz；
5) 射頻電源功率：（0～600）W連續(xù)可調(diào)；
6) 設(shè)備功率：≤3kW
7) 控制方式：采用包括觸摸屏人機(jī)界面的PLC控制，操作方式包括自動(dòng)模式和手動(dòng)模式。在自動(dòng)模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理，可同時(shí)存儲(chǔ)100組不同的配方。使用時(shí)只需要將相應(yīng)配方號(hào)調(diào)出即可。設(shè)備參數(shù)分級(jí)管理，設(shè)備操作員、工藝人員、維護(hù)人員使用不同口令管理不同參數(shù)，提高設(shè)備安全性。手動(dòng)模式用于實(shí)驗(yàn)工藝以及設(shè)備維護(hù)維修。
8) MFC質(zhì)量流量計(jì)控制（標(biāo)準(zhǔn)配置2路）
9) 氣體流量：(0～200)ml/min （標(biāo)準(zhǔn)氣壓,0℃）
10) 工作氣體(氧、氬等)接口壓力：≤0.45MPa
11) 壓縮空氣（啟動(dòng)氣動(dòng)角閥）接口壓力：0.45Mpa
12) 凈化冷卻氣體（氮?dú)猓┙涌趬毫Γ?.45MPa
13) 設(shè)備工作節(jié)拍：?jiǎn)未吻逑磿r(shí)間≤6min（反應(yīng)時(shí)間180S左右）
14) 工作真空度：10～150Pa

反應(yīng)倉：
1) 反應(yīng)倉材質(zhì)：采用高純度304不銹鋼定制，緩解氧化生銹現(xiàn)象；
2) 電極板（托盤）材質(zhì)：采用鋁合金或高純度304不銹鋼定制，緩解氧化生銹現(xiàn)象；
3) 反應(yīng)倉后部安裝有銅電極座，電極座分布多個(gè)螺釘鎖定接口，水平電極板通過該接口鎖定，牢固可靠，更有助于射頻源的穩(wěn)定輸出。
4) 倉體左右兩側(cè)安裝有側(cè)托，用于支撐電極板。
5) 清洗對(duì)象的籃具置于電極板上，電極板通過插頭與銅電極座相連，插入的電極板方向決定了該電極板為陽或?yàn)殛帯?br />6) 本設(shè)備提供的清洗模式為直接等離子體模式。直接等離子體模式為陽、陰電極相間放置。
7) 電極可以同時(shí)安放2組~4組任意組合。電極有效面積為380×310 (mm)，電極間距為2.5（cm）可調(diào)。
8) 反應(yīng)倉真空平衡方面做了改進(jìn)，平衡閥能夠快速解壓（5~10秒內(nèi)），避免了長(zhǎng)時(shí)間等待平衡時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。

真空泵： 
1） 我們*使用PUDEE油泵PDV30此泵優(yōu)點(diǎn)：風(fēng)冷，抽速快，抗氧化，耐腐蝕，維護(hù)成本低，可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷。完*了油泵易氧化的問題。
2） 耗電低，噪音小，使用壽命長(zhǎng)。
3） 泵體內(nèi)置于機(jī)柜內(nèi)部，使機(jī)器緊湊，占地面積小
自動(dòng)控制系統(tǒng)：
采用PLC進(jìn)行全程控制，性能穩(wěn)定，功能全面，人機(jī)界面友好，所有工藝參數(shù)，工藝過程實(shí)時(shí)監(jiān)控，并顯示運(yùn)行狀態(tài)、報(bào)警記錄、工藝曲線記錄和工作時(shí)間記錄，權(quán)限等級(jí)，密碼管理等，方便維護(hù)保養(yǎng)。

射頻電源：
1） 射頻電源為專業(yè)滿足在半導(dǎo)體工藝的高頻驅(qū)動(dòng)等離子系統(tǒng)的性能要求而采用的進(jìn)口固態(tài)半導(dǎo)體芯片的射頻電源。電源功率充足500w應(yīng)用領(lǐng)域包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等工業(yè)領(lǐng)域。其技術(shù)確保了超穩(wěn)定的輸出，此穩(wěn)定技術(shù)使功率放大性能得以優(yōu)化并降低由等離子阻抗波動(dòng)造成的功率增益變化。
2） 通過編碼器和軟鍵輸入實(shí)現(xiàn)Local控制
3） 標(biāo)準(zhǔn)R232接口和A/D控制
4） 在全控制和可編程微處理器作用下，可激活前面的控制面板
5） 控制電路確保了在高VSWR條件下的連貫性
相比業(yè)界同類產(chǎn)品，我公司產(chǎn)品除以上重要組件具備優(yōu)勢(shì)以外，無論從其外觀設(shè)計(jì)到操作程序設(shè)計(jì)，均貫穿了*、和人性化的理念。設(shè)備的清洗時(shí)間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量設(shè)定可調(diào)，一鍵完成全自動(dòng)工藝，實(shí)時(shí)故障報(bào)警、非法操作提示、清洗結(jié)束提示等。自動(dòng)提醒系統(tǒng)維護(hù)、更換真空泵油等，避免機(jī)器過載、過老化情形下工作，延長(zhǎng)使用壽命。

場(chǎng)地要求：
電   源：三相五線   獨(dú)立接地，接地電阻≤2Ω。應(yīng)使用截面積4mm2以上的接地銅線（建議使用獨(dú)立接地體，接地電阻必須≤2Ω。）將設(shè)備接至PE。
氣    源：氮?dú)?0.45MPa 其它工作氣體(氧、氬、氫、氦等)：≤ 0.45MPa
壓縮空氣：0.5Mpa
真空泵排放氣管：軟管，管徑（內(nèi)徑）φ25mm。建議將排氣管接至室外，并且在排氣管路上設(shè)置防止水、油流回的裝置。
場(chǎng)地溫度：≤40℃
相對(duì)濕度：RH（35-65）%

產(chǎn)品驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
產(chǎn)品驗(yàn)收以技術(shù)方案中的主要技術(shù)參數(shù)中的14項(xiàng)作為驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，驗(yàn)收?qǐng)?bào)告以此作為基準(zhǔn)出具驗(yàn)收表格，方案中的其他各項(xiàng)均應(yīng)符合實(shí)際的機(jī)器配給情況。