佳捷倫提供KeysightB1500A測量CNTFET和CNTSET
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佳捷倫提供KeysightB1500A測量CNTFET和CNTSET
KeysightB1500A半導體器件分析儀
國外的碳納米管(CNT)結構讓科學界產(chǎn)生了極大的興趣。碳納米管有很多潛在應用，但當前納米
技術研究的重點大多集中在電子元件結構上，例如碳納米管場效應晶體管(FET)和碳納米管單電
子晶體管(SET)。

多年來，Keysight4155C和4156C實際上已經(jīng)成為表征半導體器件的行業(yè)標準測試儀器。而
且，它們還是表征納米技術器件的有效工具。不過，在分析納米技術器件的電子屬性時，新型
KeysightB1500A半導體器件分析儀也是*的儀器，并且它還具有4155C和4156C所不具備的
優(yōu)點。
本應用指南以日本大阪大學的K.Matsumoto教授所做的一項研究為基礎。Matsumoto教授以
4156C精密半導體參數(shù)分析儀為測量工具，重點研究手征性是如何決定碳納米管場效應晶體管
(CNTFET)及碳納米管單電子晶體管(CNTSET)的電子屬性的。新型B1500A同樣適用于這項研究，
且B1500A還具備其他優(yōu)點，例如它有一個包含進行測量所必需的應用測試的應用程序庫。
碳納米管也被作為特大規(guī)模集成(ULSI)互連材料而進行研究，因為碳納米管可以支持*的電流
密度(比銅的大一千倍)，并具有很高的熱傳導性(比銅的大十倍)。碳納米管還可作為場發(fā)射顯
示器電源，而其近親—碳納米角，則有可能是構造燃料電池的好材料。對于表征這些基本的碳
納米結構來說，B1500A是極jia的工具。
綜合的小電流測量和納米技術研究能力
對研究和表征納米技術器件而言，一臺具有穩(wěn)定的低電壓、小電流測量能力的儀器是很
重要的。要建立良好的納米技術測試環(huán)境，有兩個必要的基本條件：合適的測量儀器和
低噪聲的測試環(huán)境。要在研究工作中達到*效率，除基本的測量性能外，易于使用的
硬件和軟件界面也很重要。
測量儀器
是德科技提供了兩種很適合納米技術測量的儀器，即Keysight4156C精密半導體參數(shù)
分析儀和KeysightB1500A半導體器件分析儀，如圖3和圖4所示。4156C有固定配置，
即四個電源/監(jiān)測單元(SMU)、兩個電壓監(jiān)測單元(VMU)和兩個電壓源單元(VSU)。這
些測量資源能夠滿足大部分參數(shù)表征需求。4156C也有一個交互式前面板，將固定硬
件按鍵和軟件按鍵相結合，這提供了便捷和緊湊的操作環(huán)境。

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