THz-NeaSNOM 太赫茲近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡
- 公司名稱 QUANTUM量子科學(xué)儀器貿(mào)易(北京)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) THz-NeaSNOM
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/4/18 10:44:47
- 訪問(wèn)次數(shù) 3463
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
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太赫茲近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡 THz-NeaSNOM---30nm光學(xué)信號(hào)空間分辨率
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
太赫茲(THz)光源波長(zhǎng)較大,般在300微米左右。由于衍射限的存在,THz遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)的光學(xué)空間分辨率般被限制在150微米左右。該THz光遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度經(jīng)常無(wú)法滿足對(duì)材料科學(xué)研究,尤其是需要納米分辨率的微細(xì)尺度材料分布研究(例如半導(dǎo)體芯片中各個(gè)組成:源,漏,柵)的實(shí)驗(yàn)。THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了個(gè)很好的解決方案。
德國(guó)neaspec公司與Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)上,已經(jīng)成功研發(fā)了套易用使用且THz系統(tǒng)的空間分辨率達(dá)到30nm的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
太赫茲近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡THz-NeaSNOM主要技術(shù)參數(shù)與點(diǎn):
| +于30nm的空間分辨率 |
應(yīng)用案例:
THz-NeaSNOM 30nm空間分辨率
THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡(下圖左)對(duì)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的測(cè)量結(jié)果圖。
該結(jié)果表明硅襯底(上圖左,灰色)上的SiO(氧化硅)的尺寸大約在1.5×1 平 方微米。通過(guò)分析左側(cè)的高度數(shù)據(jù),可以知道該氧化硅結(jié)構(gòu)僅僅只有大約22納米厚度。雖然該層狀結(jié)構(gòu)非常薄,但THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡(下圖左)在測(cè)量高度的同時(shí)仍然能夠記錄該結(jié)構(gòu)與襯底的近場(chǎng)光學(xué)信號(hào)的明顯不同襯度的結(jié)果。該THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡不僅在測(cè)量非常薄樣品的時(shí) 候靈敏度非常高,而且通過(guò)分析近場(chǎng)光學(xué)信號(hào)數(shù)據(jù)(下圖右)也證實(shí)了它超高的空間分辨率(~25-30nm)。
表征半導(dǎo)體器件 Nature 456,454(2008) | 超快機(jī)制研究納米線 Nature Photonics 8,841(2014) |
測(cè)試數(shù)據(jù)
表征半導(dǎo)體器件 Nature 456,454(2008)
超快機(jī)制研究納米線 Nature Photonics 8,841(2014)
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