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潔凈手術(shù)室凈化工程 生物無菌實(shí)驗(yàn)室裝修
參考價(jià) | ¥ 1200 |
訂貨量 | ≥1平米 |
- 公司名稱 廣東環(huán)揚(yáng)未來實(shí)驗(yàn)室科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 番禺
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/7/21 20:40:37
- 訪問次數(shù) 1315
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實(shí)驗(yàn)室家具系列:實(shí)驗(yàn)臺(tái),通風(fēng)櫥,試劑柜,實(shí)驗(yàn)室裝修改造,實(shí)驗(yàn)室凈化工程,實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃設(shè)計(jì)與施工,實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng),實(shí)驗(yàn)室自動(dòng)化控制系統(tǒng)
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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潔凈手術(shù)室凈化工程 生物無菌實(shí)驗(yàn)室裝修
凈化工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè),(21世紀(jì))在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用,并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求,等級(jí)差別也較大。
凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。
潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)*濕度范圍為35—45%。
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