微波材料學(xué)工作站--微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

主要用途：

★該系統(tǒng)既可用作傳統(tǒng)的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，又可用作微波能化學(xué)氣相沉積設(shè)備，同時(shí)又是微波等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備

★主要為應(yīng)用在半導(dǎo)體, 大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料，石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域

★該款具有高電離、高電子溫度和電子密度、適用壓強(qiáng)范圍寬、無內(nèi)部電極污染等優(yōu)異性能，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學(xué)氣相沉積、刻蝕以及甲烷轉(zhuǎn)化制氫、長余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結(jié)、碳納米管修飾［3］、納米粉體合成、處理水污染等領(lǐng)域

產(chǎn)品特點(diǎn)：

★垂直反應(yīng)器的設(shè)計(jì)可使等離子高密度；對稱的微波發(fā)生器裝置，使產(chǎn)生的等離子環(huán)境更均勻

★諧振腔內(nèi)沒有內(nèi)部電極，可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染，而且，它的運(yùn)行氣壓范圍比較寬，所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大，穩(wěn)定性高，且不與真空器接觸，從而避免了器壁對薄膜的污染

★操作便捷：氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結(jié)構(gòu)，使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作，取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程，減少了安裝造成的損壞

★多功能：4種加熱方式可選可變：微波等離子、純微波、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱；適應(yīng)包括金屬與合金在內(nèi)非易燃的任何樣品的熱處理

★雙溫區(qū)結(jié)構(gòu)：上部等離子區(qū)或加熱區(qū)下部樣品臺(tái)加熱區(qū)

★*開發(fā)的微波場傳感器，精準(zhǔn)控溫

★安全：*采用防止泄漏的聯(lián)鎖保護(hù)屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設(shè)計(jì)，多重防泄漏保護(hù)

*標(biāo)配裝有專業(yè)微波抑制器

*內(nèi)置微波泄漏傳感器

★節(jié)能：使用壽命長：磁控管微波加熱，避免和解決了傳統(tǒng)的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問題，也避免了因加熱元件損壞而造成的時(shí)間、實(shí)驗(yàn)進(jìn)度、維修費(fèi)用等各種損失

★采用無級(jí)可調(diào)、高穩(wěn)定度長壽命、連續(xù)波微波源，確保設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定長時(shí)間運(yùn)行

★嵌入式微機(jī)一體化溫度控制系統(tǒng)；實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性控溫

★無須烘爐過程：爐腔整體自身發(fā)熱，加熱均勻

★微波能量即開即有,無熱慣性,易于控制溫度

★配有萬向輪調(diào)節(jié)底腳，方便移動(dòng)和固定

技術(shù)參數(shù)：

選配功能：

質(zhì)量流量控制系統(tǒng)；美國Alicat質(zhì)量流量&控制器