D07-11CM 氣體質(zhì)量流量計(jì)
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號 D07-11CM
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2017/2/16 13:37:49
- 訪問次數(shù) 2661
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產(chǎn)品型號 | D07-11CM |
產(chǎn)品類型 | 高耐壓型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
產(chǎn)品精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤10sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | 無閥 |
溫度系數(shù) | - 無 - |
零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | <0.02 MPa |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4” |
表面化學(xué)成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 1Kg |