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          SPIN150i 德國(guó)SPS勻膠機(jī)SPIN150i

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          科布公司是一家富有創(chuàng)新精神的化高科技公司,專業(yè)提供等離子清洗系統(tǒng)全套解決方案提供商。作為工業(yè)實(shí)驗(yàn)室市場(chǎng)領(lǐng)域的,科布從事開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)并營(yíng)銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù),幫助客戶和合作伙伴取得成功。

          光刻機(jī),勻膠機(jī),等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),壓片機(jī)

          德國(guó)SPS勻膠機(jī)SPIN150i產(chǎn)品概述:
              SPIN150i型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。MYCRO的SPIN系列勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的*性和均勻性,這正是德國(guó)SPS勻膠機(jī)SPIN150i的特點(diǎn)。

          二、勻膠機(jī)工作原理:
              勻膠機(jī)(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

          三、主要性能指標(biāo):
          1、腔體直徑:8英寸 (202 毫米);
          2、Wafer芯片尺寸:10-160mm直徑的材料,4英寸方片;
          3、轉(zhuǎn)速范圍: 1~12000RPM**,±1rpm steps;
          4、zui大加速度:30000RPM/S;
          5、轉(zhuǎn)速精度: ±0.1rpm;
          6、程序段數(shù):無(wú)限制;
          7、操作步數(shù):無(wú)限制;
          8、旋轉(zhuǎn)時(shí)間:無(wú)限制*,±0.1 Second steps;
          9、旋轉(zhuǎn)方向:順時(shí)針,逆時(shí)針,交換擺動(dòng);
          10、擴(kuò)展接口:1個(gè)USB接口;
          11、馬達(dá)保護(hù):20-50kPa,2-5l/min,Tube OD ? 6mm(可關(guān)閉);
          12、排廢連接:1” M-NPT;
          13、觸屏控制:全彩觸摸屏控制界面;



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