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          YZ-2020 宇正YZ-2020天線耦合石英鐘罩式微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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              合肥宇正等離子體技術(shù)有限公司(宇正公司)是以微波等離子體應(yīng)用技術(shù)及其相關(guān)裝置、工藝為研究開發(fā)對(duì)象的高科技公司,專業(yè)從事微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研究開發(fā)和生產(chǎn),致力于微波等離子體應(yīng)用技術(shù)的科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化。宇正公司的主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體技術(shù)應(yīng)用設(shè)備與制品,微波能應(yīng)用技術(shù)設(shè)備與制品,以及科技咨詢與技術(shù)服務(wù)等。


              合肥宇正等離子體技術(shù)有限公司依托*合肥物質(zhì)科學(xué)研究院(包括等離子體物理研究所、智能機(jī)械研究所等單位)與中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)的人才資源和技術(shù)優(yōu)勢(shì),由部分*從事國(guó)家重大科學(xué)工程的科技研發(fā)人員創(chuàng)建,擁有一批微波等離子體應(yīng)用技術(shù)方面的*專家和中堅(jiān)骨干,形成一支經(jīng)驗(yàn)豐富的集高頻,微波和等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機(jī)械設(shè)計(jì)加工以及成套工程技術(shù)和高級(jí)管理相結(jié)合的精干團(tuán)隊(duì)。宇正公司緊密追蹤微波等離子體應(yīng)用技術(shù)的*水平,站在技術(shù)發(fā)展的前沿。宇正公司還擁有嚴(yán)格的質(zhì)量管理和*的顧客服務(wù)體系。宇正公司的宗旨是為用戶提供優(yōu)質(zhì)的微波等離子體應(yīng)用技術(shù)產(chǎn)品和滿意的服務(wù)。


              宇正公司具有微波、真空、等離子體測(cè)試手段,計(jì)算機(jī)CAD系統(tǒng),多種微波和等離子體實(shí)驗(yàn)研究系統(tǒng)以及必要的工藝和機(jī)械加工裝配手段,具備了從理論計(jì)算、數(shù)值模擬、工程設(shè)計(jì)、加工裝配、調(diào)試檢驗(yàn)、批量生產(chǎn)和質(zhì)量控制等一整套研開發(fā)以及專業(yè)化生產(chǎn)的優(yōu)勢(shì)能力。公司具有可靠的材料,元器件供貨渠道和外協(xié)加工配套基地。宇正公司技術(shù)核心團(tuán)隊(duì)成員從事微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研究開發(fā)二十余年,曾到*公司和大學(xué)研究機(jī)構(gòu)訪問合作,將*的技術(shù)和理念直接引進(jìn)國(guó)內(nèi)。經(jīng)過多年堅(jiān)持不懈的研究和開發(fā),已在微波等離子體*領(lǐng)域形成了一套具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的系列產(chǎn)品和技術(shù),在國(guó)內(nèi)居*地位。并已與國(guó)內(nèi)眾多家用戶有著密切的合作關(guān)系和良好的信譽(yù)。


              宇正公司曾經(jīng)為多個(gè)用戶制造過不銹鋼腔體式、石英管式、石英鐘罩式和水冷夾套不銹鋼腔體式微波等離子體化學(xué)氣相沉積制備金剛石膜裝置,微波等離子體余輝聚合有機(jī)薄膜裝置,微波等離子體小試樣紡織品處理裝置,微波等離子體高聚物表面活化裝置,微波等離子體清洗(去膠)裝置,通用型ECR等離子體裝置,ECR等離子體源離子注入(ECRPIII)裝置等等,宇正公司也是微波等離子體應(yīng)用領(lǐng)域的高技術(shù)研究向產(chǎn)業(yè)化轉(zhuǎn)化的操作平臺(tái),根據(jù)市場(chǎng)需要自行研制各種微波等離子體應(yīng)用裝置,或者與有關(guān)大學(xué)(研究所或企業(yè)研發(fā)部門)合作研制特定用途的微波等離子體*設(shè)備與工藝,*國(guó)內(nèi)技術(shù)空白。

          YZ-2多功能微波等離子體裝置
          金剛石膜制備裝置
          紡織品處理裝置
          高聚物表面活化裝置
          微波等離子體清洗去膠裝置

          概述

          宇正YZ-2020天線耦合石英鐘罩式微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置由合肥宇正等離子體技術(shù)有限公司研發(fā)生產(chǎn)。該裝置早在2000年就通過省*鑒定并在多所大學(xué)與科研院所等單位投入使用,效果良好。歷經(jīng)多年發(fā)展,該裝置技術(shù)*,性能穩(wěn)定,使用方便可靠。
           
          宇正YZ-2020天線耦合石英鐘罩式微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置由微波系統(tǒng)、沉積室、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻系統(tǒng)和電子控制系統(tǒng)組成。裝置的主要工作原理是由微波源產(chǎn)生頻率為2450MHz的微波,沿波導(dǎo)管傳輸,從而激發(fā)和維持軸對(duì)稱橢球狀等離子體。該裝置實(shí)現(xiàn)了微波與等離子體的軸對(duì)稱耦合,增強(qiáng)了沉積腔中心部位的電場(chǎng)強(qiáng)度,提高了微波功率的輸入水平,改善反映沉積室對(duì)微波傳輸線的阻抗匹配,zui后在諧振腔的真空室部分(石英鐘罩)內(nèi)激勵(lì)氣體形成軸對(duì)稱的等離子體球,等離子體球的直徑大小取決于真空沉積室中的氣體壓力和微波功率。基片溫度以微波等離子體的自加熱方式達(dá)到。
           
          技術(shù)指標(biāo)與特性
          1)         裝置采用2XZ-4旋片式真空泵。配有熱偶規(guī)真空計(jì)和壓阻規(guī)真空計(jì)測(cè)量不同范圍真空度。本底真空0.1pa。工作真空由高真空隔膜閥粗調(diào)和高真空微調(diào)閥細(xì)調(diào)手動(dòng)控制并由相應(yīng)的真空計(jì)測(cè)量顯示。
          2)         微波發(fā)生器由帶有水冷磁控管的激勵(lì)腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。微波功率0-800W連續(xù)可調(diào)(zui大功率可達(dá)1200W)。帶有微波輸出功率顯示(精確至1W)和反射指示??砷L(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作。
          3)         微波系統(tǒng)配有環(huán)行器、帶反射功率檢測(cè)的水負(fù)載、三螺釘阻抗調(diào)配器、模式轉(zhuǎn)換器、微波諧振腔。整個(gè)系統(tǒng)無微波泄露。
          4)         兩路氣體輸入,可用氮?dú)狻⒀鯕?、氫氣、甲烷等常用氣體。氣體流量采用玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)(德國(guó)引進(jìn)技術(shù))顯示和調(diào)節(jié)并由高真空微調(diào)閥手動(dòng)控制。按用戶要求亦可選用多路質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量監(jiān)控顯示盒組成的自動(dòng)控制氣路系統(tǒng),費(fèi)用另計(jì)。
          5)         沉積室由外徑130mm的石英罩、石英均流罩和可手動(dòng)升降的石英基片臺(tái)(和石墨基片臺(tái))組成。采用反應(yīng)氣體均流措施,改善了沉積環(huán)境。在沉積金剛石膜時(shí),工作氣壓3—13Kpa,基片以微波等離子體的自加熱實(shí)現(xiàn)加溫可達(dá)500—1100C。
          6)         裝置常規(guī)采用380V三相電源。按用戶要求亦可采用220V單相電源。
          7)         根據(jù)用戶要求,裝置可選配*的自動(dòng)控制與保護(hù)系統(tǒng),當(dāng)水、電或氣出現(xiàn)故障時(shí),裝置會(huì)報(bào)警并自動(dòng)關(guān)機(jī),可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間無人值守與穩(wěn)定運(yùn)行,特別適用于金剛石薄膜沉積。


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