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YZ-2020 宇正YZ-2020天線耦合石英鐘罩式微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 合肥宇正等離子體技術(shù)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) YZ-2020
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2017/7/7 3:23:36
- 訪問次數(shù) 914
產(chǎn)品標(biāo)簽
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概述
宇正YZ-2020天線耦合石英鐘罩式微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置由合肥宇正等離子體技術(shù)有限公司研發(fā)生產(chǎn)。該裝置早在2000年就通過省*鑒定并在多所大學(xué)與科研院所等單位投入使用,效果良好。歷經(jīng)多年發(fā)展,該裝置技術(shù)*,性能穩(wěn)定,使用方便可靠。
宇正YZ-2020天線耦合石英鐘罩式微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置由微波系統(tǒng)、沉積室、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻系統(tǒng)和電子控制系統(tǒng)組成。裝置的主要工作原理是由微波源產(chǎn)生頻率為2450MHz的微波,沿波導(dǎo)管傳輸,從而激發(fā)和維持軸對(duì)稱橢球狀等離子體。該裝置實(shí)現(xiàn)了微波與等離子體的軸對(duì)稱耦合,增強(qiáng)了沉積腔中心部位的電場(chǎng)強(qiáng)度,提高了微波功率的輸入水平,改善反映沉積室對(duì)微波傳輸線的阻抗匹配,zui后在諧振腔的真空室部分(石英鐘罩)內(nèi)激勵(lì)氣體形成軸對(duì)稱的等離子體球,等離子體球的直徑大小取決于真空沉積室中的氣體壓力和微波功率。基片溫度以微波等離子體的自加熱方式達(dá)到。
技術(shù)指標(biāo)與特性
1) 裝置采用2XZ-4旋片式真空泵。配有熱偶規(guī)真空計(jì)和壓阻規(guī)真空計(jì)測(cè)量不同范圍真空度。本底真空0.1pa。工作真空由高真空隔膜閥粗調(diào)和高真空微調(diào)閥細(xì)調(diào)手動(dòng)控制并由相應(yīng)的真空計(jì)測(cè)量顯示。
2) 微波發(fā)生器由帶有水冷磁控管的激勵(lì)腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。微波功率0-800W連續(xù)可調(diào)(zui大功率可達(dá)1200W)。帶有微波輸出功率顯示(精確至1W)和反射指示??砷L(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作。
3) 微波系統(tǒng)配有環(huán)行器、帶反射功率檢測(cè)的水負(fù)載、三螺釘阻抗調(diào)配器、模式轉(zhuǎn)換器、微波諧振腔。整個(gè)系統(tǒng)無微波泄露。
4) 兩路氣體輸入,可用氮?dú)狻⒀鯕?、氫氣、甲烷等常用氣體。氣體流量采用玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)(德國(guó)引進(jìn)技術(shù))顯示和調(diào)節(jié)并由高真空微調(diào)閥手動(dòng)控制。按用戶要求亦可選用多路質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量監(jiān)控顯示盒組成的自動(dòng)控制氣路系統(tǒng),費(fèi)用另計(jì)。
5) 沉積室由外徑130mm的石英罩、石英均流罩和可手動(dòng)升降的石英基片臺(tái)(和石墨基片臺(tái))組成。采用反應(yīng)氣體均流措施,改善了沉積環(huán)境。在沉積金剛石膜時(shí),工作氣壓3—13Kpa,基片以微波等離子體的自加熱實(shí)現(xiàn)加溫可達(dá)500—1100C。
6) 裝置常規(guī)采用380V三相電源。按用戶要求亦可采用220V單相電源。
7) 根據(jù)用戶要求,裝置可選配*的自動(dòng)控制與保護(hù)系統(tǒng),當(dāng)水、電或氣出現(xiàn)故障時(shí),裝置會(huì)報(bào)警并自動(dòng)關(guān)機(jī),可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間無人值守與穩(wěn)定運(yùn)行,特別適用于金剛石薄膜沉積。