VTC-2RF 等離子鍍膜設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司
品牌
型號 VTC-2RF
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時間 2024/10/22 15:38:52
訪問次數(shù) 2707

產(chǎn)品標(biāo)簽

磁控濺射鍍膜儀

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公司介紹 主營產(chǎn)品

　　合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年，是由一群來自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備：包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機(jī)、自動研磨、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品，其中包括：箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備?，F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*，為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計*、性能優(yōu)異，質(zhì)量可靠，性價比高，環(huán)保節(jié)能、返修率低，遠(yuǎn)銷到歐洲，美國，日本，德國等許多國家，廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域，受到客戶*好評。

　　科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會發(fā)展做出貢獻(xiàn)。

展開

真空管式爐，高溫箱式爐，高速震動球磨機(jī)，RTP快速退火爐，高溫高壓爐，涂覆機(jī)，電池制備設(shè)備等

詳細(xì)信息 在線詢價

等離子鍍膜設(shè)備是一款小型的射頻（RF）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF電源、2“的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜，它是一款物美價廉的實(shí)驗(yàn)幫手。

等離子鍍膜設(shè)備詳細(xì)說明

VTC-2RF是一款小型的射頻（RF）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF電源、2"的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜，它是一款物美價廉的實(shí)驗(yàn)幫手。
我們用此設(shè)備得到擇優(yōu)取向的ZnO薄膜

技術(shù)參數(shù)

輸入電源	220VAC 50/60Hz, 單相 800W (包括真空泵）
等離子源	一個300W，13.5MHz的射頻電源安裝在移動柜內(nèi) (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
磁控濺射頭	一個 2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接靶材尺寸: 直徑為50mm,zui大厚度6.35mm 一個快速擋板安裝在法蘭上（手動操作，見圖左3）濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環(huán)水冷機(jī)）同時可選配1英寸濺射頭
真空腔體	真空腔體：160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H，采用高純石英制作密封法蘭:直徑為165 mm . 采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封一個不銹鋼網(wǎng)罩住整個石英腔體，以屏蔽等離子體真空度：10-3 Torr （采用雙極旋片真空泵） 10-5 torr （采渦旋分子泵）
載樣臺	載樣臺可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱載樣臺尺寸：直徑50mm （zui大可放置2英寸的基片）旋轉(zhuǎn)速度：1 - 20 rpm 樣品的zui高加熱溫度為700℃，(短期使用，恒溫不超過1小時)，長期使用溫度500℃ 控溫精度+/- 10℃
真空泵	可選用直聯(lián)式雙極旋片泵,也可選用德國制作的分子泵系統(tǒng)
薄膜測厚儀	一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時監(jiān)控薄膜的厚度，分辨率為0.10 ? LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
外形尺寸
質(zhì)保和質(zhì)量認(rèn)證	一年質(zhì)保期，終生維護(hù) CE認(rèn)證
使用注意事項(xiàng)	這款2英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用于在單晶基片上制備氧化物膜，所以并不需要太高的真空度為了較好地排出真空腔體中的氧氣，建議用5%H2+95 %N2對真空腔體清洗，可有效減少真空腔體中的氧含量請用純度大于5N的Ar來進(jìn)行等離子濺射，甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水，所以建議將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統(tǒng)過后，再導(dǎo)入到真空腔體內(nèi)