• 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫多薄膜損壞
• 可以通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果
• 爐體有兩個溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個溫區(qū)zui大溫差為400℃
• 管式爐zui高工作溫度為1100℃
• 帶有預熱爐，zui高溫度為1100℃，氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

雙溫區(qū)滑軌爐
 

(點擊圖片查看詳細資料）

• 連續(xù)工作zui高溫度為1100℃
• 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命(點擊文字查看詳細資料）
• 兩個溫控系統(tǒng)獨立控制兩個溫區(qū)，都可設(shè)置30段升降溫程序
• 每個溫區(qū)長度為200mm
• 總溫區(qū)長度：400mm
• 恒溫區(qū)：200mm(兩個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度）
• 兩個溫區(qū)zui大溫差為：400℃
• 爐管材料：高純石英管
• 石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L
• 所需電源: 208 – 240V AC單相
• zui大功率： 4KW

等離子射頻發(fā)生器
 

• 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
• 穩(wěn)定性為：+/-1%
• 射頻電源頻率：13.56 MH, 穩(wěn)定性±0.005% 
• zui大反向功率: 200W 
• 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半導體, 陰極
• 噪音:<50 dB.
• 冷卻方式：空氣冷卻
• 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz  

預熱爐

• 一款小型單溫區(qū)管式爐，加熱區(qū)為200mm
• zui高溫度:  1100ºC
• 可設(shè)置30段升降溫程序
• 控溫儀表操作視頻
• 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預熱爐
• 也可將固體和液體原料放在預熱爐中，氣化后與氣體原料相混合
  

防腐型數(shù)顯真空計
 

• 測量范圍3.8x10^-5 至 1125 Torr
• 當氣壓在10mbar以上時，可獨立測量各種氣體，不必做校正（包括混合氣體）
• 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復性
• 信號響應(yīng)時間較短（≤30ms)
• 因為傳感器上鍍有防腐涂層，所以具有較好的抗腐蝕性

真空泵和閥

• 可以從本公司選購以下幾種真空泵
• 如您想獲得更高的真空度(<10^-5 torr or better) 可選國產(chǎn)或進口高真空機組
• 配有擋板閥、波紋管和卡箍等真空配件
•           

電動滑軌

• 可將電動滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動，以達到快速升溫和快速降溫的效果
• 滑動速度：0-70 mm/s（可調(diào)）

升溫和降溫速率

• RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費用在本公司購買）
• 為了獲得zui大的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品盛放位置

可選

可以選購2-4通道質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng)（精度1.5%）

外形尺寸

• 爐體: 550 x 380 x 520  mm 
• 滑軌長度：1750 mm 

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護（不包括爐管、密封圈和加熱元件）

    CE Certified

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
• 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)
• 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
• 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）