場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
- 公司名稱(chēng) 東莞市協(xié)美電子有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2015/6/30 9:11:03
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JSM-7800F Prime場(chǎng)發(fā)射電子顯微鏡
JSM-7800F Prime采用新開(kāi)發(fā)的超高分辨率GBSH模式,達(dá)到了世界zui高水準(zhǔn)的分辨率。浸沒(méi)式肖特基Plus電子槍?zhuān)瑢ui大探針電流從200nA提高到了500nA。
浸沒(méi)式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍 電子槍和低像差聚光鏡的優(yōu)化組合,實(shí)現(xiàn)了更高的亮度,能有效采集電子槍中發(fā)射的電子,即使在低加速電壓下也能獲得數(shù) pA~數(shù)10 nA 探針電流,保持zui小的物鏡光闌就可以進(jìn)行納米尺寸的高分辨率觀(guān)察、快速元素面分布及EBSD分析。 | |
利用GBSH(GENTLE BEAM SUPER HIGH RESOLUTION)觀(guān)察樣品表面以前的GB※模式經(jīng)過(guò)改進(jìn)后,可以對(duì)樣品施加更高的電壓,這樣在低加速電壓下也能獲得超高分辨率的圖像。從樣品的淺表面觀(guān)察到納米尺寸的元素分析,GBSH能根據(jù)各種不同的應(yīng)用選擇加速電壓。※Gentle Beam(GB) 通過(guò)給樣品加以偏壓(GB),對(duì)入射電子有減速、對(duì)釋放出的電子有加速作用。 | |
通過(guò)GENTLE BEAM (即柔和光束GB模式)觀(guān)察樣品的淺表面給樣品加以偏壓(GB),對(duì)入射電子有減速、對(duì)釋放出的電子有加速作用。即使入射電子束到達(dá)樣品時(shí)的能量很低,也可以獲得高分辨率、高信噪比的圖像。如果利用能施加更高偏壓的GB模式,用數(shù)十電子伏能量的入射電子束,就可以進(jìn)行更高分辨率的觀(guān)察。 | |
通過(guò)多個(gè)檢測(cè)器獲取樣品的所有信息JSM-7800F配有四種檢測(cè)器:高位檢測(cè)器(UED) 、高位二次電子檢測(cè)器(USD)、背散射電子檢測(cè)器(BED)和低位檢測(cè)器(LED)。UED過(guò)濾器的電壓不同,二次電子和背散射電子的數(shù)量會(huì)改變,因此可以選擇電子的能量,USD檢測(cè)被過(guò)濾器彈回的低能量電子,BED通過(guò)檢測(cè)低角度的背散射電子,能清楚地觀(guān)察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。 |
應(yīng)用實(shí)例
利用GBSH進(jìn)行觀(guān)察 JSM-7800F Prime 標(biāo)配了GBSH模式。下圖是高定向熱解石墨(HOPG)解理面的二次電子像,到達(dá)樣品時(shí)的能量為1keV,左圖中樣品偏壓為-2kV,右圖中樣品偏壓為-5kV。 可以看出利用GBSH(樣品偏壓-5 kV)模式觀(guān)察,HOPG的微細(xì)結(jié)構(gòu)更加清晰,達(dá)到的分辨率更高。 | |
以前的技術(shù) 樣品偏壓2KV | 技術(shù) 樣品偏壓5KV |
產(chǎn)品規(guī)格
分辨率 | 0.7 nm(15 kV) 0.7 nm(1 kV) 3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm) |
倍率 | ×25 ~ ×1,000,000(SEM) |
加速電壓 | 0.01kV ~ 30kV |
樣品照射電流(探針電流) | 數(shù)pA~500nA |
自動(dòng)光闌角*控制透鏡 | 內(nèi)置 |
檢測(cè)器 | 高位檢測(cè)器(UED) 低位檢測(cè)器(LED) |
能量過(guò)濾器 | UED過(guò)濾器電壓可變功能內(nèi)置 |
Gentle Beam (GB模式即柔和光束) (樣品偏壓) | 內(nèi)置 |
數(shù)字圖像 | 1,280 x 960 像素, 800 x 600 像素 |
樣品交換室 | 由TYPE2A構(gòu)成 |
樣品臺(tái) | 全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
X-Y | X:70mm, Y:50mm |
傾斜 | -5 ~ +70° |
旋轉(zhuǎn) | 360° |
工作距離 | 2mm to 25mm |
真空系統(tǒng) | SIP 2臺(tái)、TMP、RP |
節(jié)能設(shè)計(jì) | 正常運(yùn)行時(shí): 1.3kVA 節(jié)能模式時(shí): 0.8kV |
JSM-7800F的物鏡采用的是靜電場(chǎng)和靜磁場(chǎng)疊加的超級(jí)混合式物鏡(SHL),由于減少了色差及球差,*地提高了低加速電壓下的分辨率。此外,SHL不會(huì)對(duì)樣品形成磁場(chǎng)影響,因此觀(guān)察磁性材料的樣品和進(jìn)行EBSD測(cè)試可以不受制約。