超純水 (i級) 產(chǎn)水水質(zhì)*
電阻率 | 18.2 mω·cm @ 25?c |
toc (未加裝185/254 nmuv燈) | <10ppb |
toc (加裝185/254 nmuv燈) | <5ppb |
顆粒物 (粒徑 > 0.22 μm)** | <1/ml |
微生物** | <0.1cfu/ml |
內(nèi)毒素*** | <0.001eu/ml |
rna酶*** | <0.01ng/ml |
流速** | >0.5l/min(zui大可達42l/hr) |
bisphenol a(雙酚a) **** | <0.005ppb |
diethyl phthalate | <0.2ppb |
di-n-butyl phtalate(dnbp)**** | <0.2ppb |
nonylphenol(np)**** | <0.1ppb |
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