EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀
- 公司名稱 英格海德分析技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 EQP
- 產(chǎn)地 英國Hiden公司
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/3/22 10:48:26
- 訪問次數(shù) 5481
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在線質(zhì)譜儀，殘余氣體分析儀，重量法吸附儀，高壓吸附儀，蒸汽吸附儀，導(dǎo)熱系數(shù)分析儀，質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)飛行質(zhì)譜儀，電化學(xué)質(zhì)譜儀
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀應(yīng)用：
· 刻蝕 / 沉積作用研究
· 離子植入 / 激光燒蝕
· 殘余氣體分析 / 泄漏檢測
· 等離子體電極耦合，即在操作中遵從電極設(shè)定條件
· 通過視口、接地電極和驅(qū)動電極進(jìn)行分析
Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀特點(diǎn)：
1、軟件控制的離子汲取光學(xué)系統(tǒng)，以使等離子體擾動z小
2、45°靜電扇區(qū)分析器，掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
3、所有能量范圍內(nèi)，離子行程的z小擾動，及恒定離子傳輸
4、帶差式泵的三級過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
5、高靈敏度 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器，有7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
6、可調(diào)諧的離子源，用于電子附著選件的表觀電勢質(zhì)譜分析
7、Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
8、信號選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布隨時間的變化
9、1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
10、Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
11、通過RS232、RS485或Ethernet LAN，控制軟件MASsoft。
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