FTPA-2000 ABB AnalyzeIT濕法過程分析儀
參考價 | ¥ 13 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 杭州格圖科技有限公司
- 品牌
- 型號 FTPA-2000
- 產(chǎn)地 加拿大
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2016/3/22 13:32:19
- 訪問次數(shù) 2167
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New ClipplR AnalyzeIT濕法過程分析儀
ABB用于半導(dǎo)體工業(yè)中濕法分析過程在線、實時監(jiān)測和控制的解決方案
在半導(dǎo)體制造業(yè)中,對濕法化學(xué)過程進行連續(xù)監(jiān)測可以提高產(chǎn)量,降低故障率,使生產(chǎn)利潤zui大化
在半導(dǎo)體制造中,為了提高企業(yè)的生產(chǎn)能力和產(chǎn)品質(zhì)量,降低生產(chǎn)成本,需要對相關(guān)的濕法化學(xué)過程進行精確的控制。ABB公司的濕法過程分析儀(WPA)可以對各種刻蝕液、清洗液和去光膠液的化學(xué)濃度進行連續(xù)地在線監(jiān)測,并為實時過程控制提供了必要的信息。
采用實時過程監(jiān)測,企業(yè)能從化學(xué)制品有效期的延長、消耗與浪費的減少以及實驗室測量工作的減輕等方面提高成本效益。實踐表明,將SC1/SC2等清洗液的使用壽命延長25%到30%,WPA的投資成本一般可以在一年內(nèi)收回。對于一些通用的有機化學(xué)試劑,它的成本回收期大約只有6個月左右。
WPA具有許多*的技術(shù)優(yōu)勢,它能夠?qū)穹ㄟ^程中使用的30多種不同的溶液(見下列表)進行監(jiān)測。另外,ABB公司還可以根據(jù)客戶的具體要求定制專門的標準曲線。
WPA系統(tǒng)中包含的FTSW100過程控制軟件,可以實現(xiàn)分析儀與濕法過程的*集成。除了能夠顯示在過程中監(jiān)測到的各種化學(xué)成分的濃度值及其變化趨勢外,該軟件還有自動數(shù)據(jù)存儲功能,當某些數(shù)值超出了許可范圍時,該然間還會發(fā)出警告或報警。當清洗液成分部符合要求時,軟件會報警通知操作人員,同時使設(shè)備自動阻擋清洗液的流入。
非接觸式紅外檢測
WPA主機為傅立葉變換近紅外光譜儀(FT-NIR),這種光譜儀通過光纖連接到名為CLippiIR 的Teflon檢測池。一次zui多可以使用8個CLippiIR 來同時檢測各種化學(xué)溶液。CLippiIR 的創(chuàng)新設(shè)計可以使用能夠很容易地固定在現(xiàn)有管道的外表面上。穿過CLippiIR 的紅外光使系統(tǒng)可以直接監(jiān)測管道內(nèi)的化學(xué)物濃度,而不會造成任何污染。
CLippiIR 專為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計,能夠安裝在很小的化學(xué)箱體之上,或者安裝在濕法設(shè)備的其它任何部件之內(nèi)。另外,它還具有抵抗化學(xué)腐蝕的能力,可以在強腐蝕性環(huán)境中使用。
FTPA-2000系列光譜儀可以在惡劣的工業(yè)條件下使用,它具有很小的外形尺寸(43*41*18里面),可以安裝在離CLippiIR 遠達100米處。它既可以在潔凈室外作為一個獨立的裝置單獨使用,也可以集成的整個過程分析儀系統(tǒng)中使用。
Teflon檢測池 | 新型產(chǎn)品CLippiIR 具有抗污染和抗化學(xué)腐蝕性能,并且不需要中斷生產(chǎn)就可以在生產(chǎn)流路中快速安裝。 |
多路分析 | 1臺WPA能夠檢測多達8種不同的過程流,對每個流路可以分析其4中配方(zui多可以達32個參數(shù))。 |
紅外(IR)分析 | 半導(dǎo)體紅外分析避免了在過程流中循環(huán)的溶解金屬或其它顆粒物所造成的干擾。 |
插入式測量 | 不需要引出過程支流,可通過光纖傳輸?shù)募t外線對管道中的過程流直接進行測量。 |
遠程監(jiān)測 | WPA可以設(shè)置在離測量點(CLippiIR )遠達100米處,如果需要,還可以將其放在室外。 |
FTSW100過程控制軟件中的測量屏幕將顯示各種成份的濃度值與變化趨勢。
特點: | 優(yōu)勢 |
可對濕法化學(xué)過程進行精確的、實時的在線監(jiān)測; | 由于延長了清洗液使用壽命,減少了化學(xué)品消耗量,并且無離線實驗室分析所需要的停工期,因此節(jié)約了生產(chǎn)費用; |
非接觸式測量; | 無化學(xué)品損耗,無污染,安裝時無需停工; |
快速測量(<1分鐘,多種通訊協(xié)議); | 能夠?qū)崿F(xiàn)實時過程控制; |
多過程流分析(zui多可達8個流路); | 每條過程流分析成本低; |
多組分分析(每個流路zui多可達4種配方); | 增強了再技術(shù)要求很嚴格的場合過程分析性能,減少了晶片清洗的次數(shù); |
通過光纜實現(xiàn)遠程監(jiān)測 外形尺寸小; | 靈活的安裝選擇; |
*的穩(wěn)定性與可靠性; | 無漂移,僅需少量維護; |
不需要使用試劑; | 交鑰匙系統(tǒng); |
化得售后服務(wù)與。 | 迅速的服務(wù)響應(yīng)。 |