掃描電鏡原理：

          掃描電鏡zui基本的功能是對各種固體樣品表面進(jìn)行高分辨形貌觀察。大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色，應(yīng)用于生物學(xué)、植物學(xué)、地質(zhì)學(xué)、冶金學(xué)等領(lǐng)域。觀察可以是一個(gè)樣品的表面，也可以是一個(gè)切開的面，或是一個(gè)斷面。冶金學(xué)家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面?？梢院芊奖愕匮芯垦趸锉砻?，晶體的生長或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙，紡織品，自然的或制備過的木頭的細(xì)微結(jié)構(gòu)，生物學(xué)家可用它研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu)。例如：花粉顆粒，硅藻和昆蟲。另一方面，它可以拍出與樣品表面相應(yīng)的立體感強(qiáng)的照片。
    在掃描電鏡應(yīng)用中，很多集中在器件和方面，它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時(shí)局部表面電壓變化的實(shí)際情況，這是因?yàn)檫@種變化會(huì)帶來象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。利用束感生電流，可以觀測半導(dǎo)體P—N結(jié)內(nèi)部缺陷。
    電子束與樣品作用區(qū)內(nèi)，還發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性質(zhì)有關(guān)信號(hào)。例如：與樣品化學(xué)成分分布相關(guān)的，背散射電子，特征X射線，俄歇電子，陰極熒光，樣品吸收電流等；與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的，背散射電子衍射現(xiàn)象的探測；與半導(dǎo)體材料電學(xué)性能相關(guān)的，二次電子信號(hào)、電子束感生電流信號(hào)；在觀察薄樣品時(shí)產(chǎn)生的透射電子信號(hào)等。目前分別有商品化的探測器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室，用于探測和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信

掃描電鏡的參數(shù)：

    掃描電鏡對于固體材料的研究應(yīng)用非常廣泛，沒有任何一種儀器能夠和其相提并論。對于固體材料全面特征的描述，掃描電鏡是至關(guān)重要的。
    保證分辨率 3.0nm（30kV）8.0nm（3kV）15nm（1kV）
    放大倍數(shù) 5至300,000x
    加速電壓 0.5kV至30kV
    電子槍 工廠預(yù)對中燈絲
    聚光鏡 變焦聚光鏡
    物鏡 錐形物鏡
    樣品臺(tái) 全對中樣品臺(tái)
    X-Y 80mm-40mm
    Z 5mm至48mm
    旋轉(zhuǎn) 360°
    傾斜 －10°至＋90°
    排氣系 （高真空模式） DPx1，RPx1
    排氣系統(tǒng) （低真空模式） DPx1，RPx2
    JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統(tǒng)合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標(biāo)，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個(gè)過程。
    操作窗口
    直觀的操作界面的設(shè)計(jì)，簡明易懂便于迅速掌握操作。
    支持多用戶
    單個(gè)用戶可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應(yīng)的圖標(biāo)，營造快捷的操作環(huán)境。用戶登錄時(shí)，即可加載已注冊過的設(shè)定。
    同時(shí)顯示兩幅圖像
    畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實(shí)時(shí)圖像?？赏瑫r(shí)觀察樣品的形貌和組成分布。
    微細(xì)結(jié)構(gòu)測量
    適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進(jìn)行測量。也可將測量結(jié)果貼至SEM圖像，保存在文件中。
    標(biāo)準(zhǔn)的全對中樣品臺(tái)，能收錄三維照片
    3D Sight（選配件），能夠進(jìn)行平面測量和高度測量，實(shí)現(xiàn)立體俯視圖。
    從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍
    分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺(tái)監(jiān)視器，一臺(tái)用于SEM圖像觀察和另一臺(tái)用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標(biāo)即可同時(shí)控制兩臺(tái)監(jiān)視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。
    維護(hù)簡便
    工廠預(yù)置中心燈絲，十分便于更換。因此，可*保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護(hù)的步驟說明。
    可信賴的真空系統(tǒng)
    真空系統(tǒng)使用高性能的擴(kuò)散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴(kuò)散泵內(nèi)部無活動(dòng)部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護(hù)簡便的特色。