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          UKSY-5 功能薄膜特性測試儀

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          功能薄膜特性測試儀 型號:UKSY-5 貨號:ZH9392
          產品簡介
          本測試儀是多用途綜合測量裝置,開展半導體材料的電阻性能的測試。由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導率測量儀組成。四探針測試儀由主機、測試架等部分組成,測試結果由數字表頭直接顯示。主機主要由高靈敏度直流數字電壓表和高穩(wěn)定度
          恒流源組成。非晶硅薄膜電導率測量儀由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、高阻測量系統(tǒng)等部分組成。
          測量范圍:
          電阻范圍:1×106~1×1017Ω;
          電 阻 率:0.001~200Ωcm
          電 導 率:0.005~1000s/cm
          可測晶片直徑: 200mmX200mm
          探    針:碳化鎢或高速鋼
          探針間距:1±0.01mm
          針間緣電阻:≥1000MΩ
          機械游移率:≤0.3%
          本底真空度:≤10Pa
          氣壓可控范圍:10~400Pa
          襯底加熱 溫度:室溫~200℃

           

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