埃米儀器完成數(shù)千萬(wàn)元Pre-A輪融資 加速高精密量測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代
【化工儀器網(wǎng) 廠商報(bào)道】近日，南京埃米儀器科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱“埃米儀器”)宣布成功完成數(shù)千萬(wàn)元的Pre-A輪融資，本輪融資由博將資本領(lǐng)投。此次融資將主要用于進(jìn)一步提升先進(jìn)半導(dǎo)體制程用的高精密量測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品線，并加大市場(chǎng)開拓力度。
埃米儀器成立于2022年8月，總部位于南京江北新區(qū)研創(chuàng)園，是一家專注于研發(fā)和生產(chǎn)用于芯片制造高精密量測(cè)設(shè)備的技術(shù)企業(yè)。自成立以來(lái)，公司一直致力于引領(lǐng)國(guó)內(nèi)高精密3D量測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，不斷攻克核心技術(shù)難題。
公司以芯片制造企業(yè)為主要客戶，產(chǎn)品聚焦于納米/亞納米級(jí)三維結(jié)構(gòu)的高精密高速量/檢測(cè)裝備，主要應(yīng)用于芯片制程中的微結(jié)構(gòu)量測(cè)和缺陷檢測(cè)。這些產(chǎn)品對(duì)于解決相關(guān)領(lǐng)域的卡脖子技術(shù)具有重要意義，有助于提升我國(guó)芯片制造業(yè)的整體競(jìng)爭(zhēng)力。
目前，埃米儀器擁有一支以國(guó)家級(jí)人才為主的研發(fā)核心團(tuán)隊(duì)，并與南京大學(xué)、山東大學(xué)、南智光電研究院等國(guó)內(nèi)外科研院所、機(jī)構(gòu)建立了密切合作關(guān)系。這些合作不僅提升了公司的技術(shù)研發(fā)能力，還為公司帶來(lái)了更多的市場(chǎng)機(jī)遇。
量測(cè)設(shè)備作為半導(dǎo)體設(shè)備的第四大市場(chǎng)，規(guī)模占半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)份額的15%左右。在芯片生產(chǎn)過(guò)程中，量測(cè)設(shè)備能夠監(jiān)測(cè)、識(shí)別、定位、分析工藝缺陷，對(duì)于晶圓廠及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題、改善工藝、提高良率具有重要作用。其中，原子力顯微鏡(AFM)作為目前精度最高的量測(cè)設(shè)備之一，正在成為先進(jìn)制程中的主力量測(cè)設(shè)備。
埃米儀器是國(guó)內(nèi)將在線工業(yè)級(jí)原子力顯微鏡產(chǎn)品推向高端制程的公司。其工業(yè)級(jí)高通量原子力顯微鏡技術(shù)路線已得到客戶的認(rèn)可和大力支持。截至目前，公司已推出多款量測(cè)設(shè)備，包括在線工業(yè)級(jí)原子力顯微鏡量測(cè)設(shè)備APEX-X1(全自動(dòng)機(jī)臺(tái))、科研級(jí)原子力顯微鏡量測(cè)設(shè)備APEX-1000(半自動(dòng)機(jī)臺(tái))、高速光學(xué)掃描輪廓儀UltraView-1000、UltraView-2000等。其中，APEX-X1已完成某芯片頭部企業(yè)的產(chǎn)品正式交付。
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