我國(guó)首次建立納米級(jí)角度國(guó)家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)
【化工儀器網(wǎng) 時(shí)事熱點(diǎn)】近日，國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)管總局新批準(zhǔn)二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、二維硅納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、一維硅納米光柵標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)3項(xiàng)國(guó)家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，能夠同時(shí)滿(mǎn)足納米制造產(chǎn)業(yè)角度和長(zhǎng)度校準(zhǔn)需求，為新一代信息技術(shù)、新材料、生物制造、高端裝備等領(lǐng)域的納米制造提供精準(zhǔn)“標(biāo)尺”。
納米制造是現(xiàn)代科技的前沿領(lǐng)域，涉及信息技術(shù)、新材料、生物制造和高端裝備制造等諸多方面。在這些領(lǐng)域中，精確測(cè)量是保證產(chǎn)品質(zhì)量和性能的關(guān)鍵。然而，傳統(tǒng)的測(cè)量方法往往無(wú)法滿(mǎn)足納米級(jí)的高精度需求，因此開(kāi)發(fā)新型的納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)成為當(dāng)務(wù)之急。
此次獲批的3項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)中，二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)尤為引人注目。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制單位同濟(jì)大學(xué)相關(guān)專(zhuān)家介紹，二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)突破性地采用分步沉積原子光刻技術(shù)，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數(shù)(鉻原子躍遷頻率)，角度絕對(duì)準(zhǔn)確性在0.001°量級(jí)，相當(dāng)于把一個(gè)蛋糕按扇形均分成三十六萬(wàn)份。
二維鉻納米柵格的結(jié)構(gòu)面積一般為300μm×300μm，在沒(méi)有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm×2μm，不重復(fù)使用測(cè)量區(qū)域次數(shù)可達(dá)20000次以上。可應(yīng)用于晶圓級(jí)原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)，也可應(yīng)用于對(duì)超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準(zhǔn)。
納米級(jí)角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制成功，是我國(guó)在納米技術(shù)領(lǐng)域的一項(xiàng)重要突破。這不僅提升了國(guó)產(chǎn)納米制造產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性，也為相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支持。
現(xiàn)如今，納米技術(shù)成為提升國(guó)家競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵引擎。作為全球納米科技的重要參與者，我國(guó)的這一突破無(wú)疑將為全球納米科技的進(jìn)步注入新的動(dòng)力，并為國(guó)際納米測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的制定提供參考依據(jù)。這不僅有助于提升我國(guó)在全球高科技領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)力，也為全球科技進(jìn)步貢獻(xiàn)了中國(guó)智慧和力量。
國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)管總局表示，接下來(lái)將繼續(xù)強(qiáng)化納米測(cè)量領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制和應(yīng)用，進(jìn)一步解決納米制造中的“測(cè)不了、測(cè)不全、測(cè)不準(zhǔn)”的問(wèn)題，為筑牢新興產(chǎn)業(yè)和未來(lái)產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)提供支撐保障。
素材來(lái)源：國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)管總局
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