岱美儀器精彩亮相CIOE中國光博會，展示光學測量創(chuàng)新成果
【化工儀器網(wǎng) 展會報道】中國國際光電博覽會(以下簡稱“CIOE中國光博會”)是專注于光電行業(yè)的國際知名展覽會，自1999年創(chuàng)辦以來廣受業(yè)界好評，展會規(guī)模不斷擴大。2024年9月11日至13日，第二十五屆CIOE中國光博會在深圳國際會展中心盛大舉行。本次展會展廳多達12個，展示面積超24萬平方米，吸引了全球超過3700家優(yōu)質(zhì)企業(yè)參與。
展位現(xiàn)場
岱美儀器技術(shù)服務(上海)有限公司成立于1989年，是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設備分銷商，主要為數(shù)據(jù)存儲、半導體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設備、工序設備以及相應的技術(shù)支持，并與一些重要的客戶建立了長期合作的關系。本次岱美儀器受邀參加本次光博會，攜帶多款產(chǎn)品參展，在展會現(xiàn)場大放異彩。
展會現(xiàn)場
岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品：晶圓鍵合機、納米壓印設備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設備、光學三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應力檢測儀、電容式位移傳感器等。本次岱美展示了QuickPRO精密計量產(chǎn)品和FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)等產(chǎn)品。
QuickPRO精密計量產(chǎn)品
QuickPRO精密計量產(chǎn)品
精密加工、PCBs、ASICs和光學(球面、非球面、衍射、微透鏡、注塑、薄膜)的高速表面檢測OATI的QuickPROIM計量系統(tǒng)利用多達兩個相對的彩色共焦光學傳感器來提供非接觸式z軸測量精度低于50nm，空間數(shù)據(jù)采樣低至2μm。此外，對于表面計量中最敏感的應用，我們還提供干涉版(QuickPROTMOCT)用于超敏(<5nm)應用。
QuickPRO"精密計量產(chǎn)品的單傳感器平臺(QuickPROTM RPS和QuickPROTM 3D)為您提供了一個簡單、可靠、具有戰(zhàn)略意義的高精度表面計量基準，而我們的雙傳感器平臺(QuickPROTM CUBE-Mini和QuickPROTM CUBE-100)允許在不需要移動被測單元的情況下進行雙面表征，其優(yōu)點是增加了測量楔形和表面偏心的能力。
QuickPRO"精密計量產(chǎn)品為緊湊型臺式裝置，帶集成外殼和隔振操作；納米級精密直線電機載物臺，用于定制掃描程序，覆蓋范圍可達150毫米(200毫米掃描能力正在開發(fā)中)；Al/機器人兼容的控制軟件，實現(xiàn)全自動化能力；利用超靈敏數(shù)據(jù)可視化識別地表變化的點云分析程序；高動態(tài)范圍檢測程序，用于表征與法線成45度角的表面。
FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)
FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)
FR-ES用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)配件包括：濾光片可適用光刻膠測量、FR-Mic用于微米級別區(qū)域測量、各種手動/自動載物臺等，100x100mm或200x200mm、用于吸光度/透射率和化學濃度測量的薄膜/比色皿支架、用于漫反射和全反射的積分球、API二次軟件開發(fā)、接觸式探頭-ST是用于彎曲樣品反射率膜厚測量的獨特附件等。
FR-pOrtable: USB供電膜厚儀現(xiàn)場適配器：用于在需要點進行測量；透射模塊：用于測量涂層的透射和吸收光譜、涂層厚度等；手動XY平臺：用于表征多個位置的涂層(手動移動)。
LAS-P-VIS™ 定心儀（偏心儀）
LAS-P-VIS™ 定心儀
LAS-P-VIS™定心儀是一個中等大小的非接觸式透鏡對準和檢測儀，從地面開始設計，用于單元件、雙透鏡、三重透鏡和多元件透鏡組件的精密透鏡集中和傾斜測量，半徑范圍從+/-1mm到無限遠(平面)，直徑從1mm到300mm，包括球面、非球面、圓柱形和拋物面。所有這一切都可以用一個單一的物鏡，允許快速和簡易的測量。
LAS-P-VIS™定心儀為中型、實心花崗巖結(jié)構(gòu)，剛性被動隔振架；測量小到中等直徑透鏡和組件(約300毫米)；高功率綠色(520nm)激光器，光纖耦合到光模塊；90毫米工作距離(WD)物鏡，帶有附件快速連接螺紋；用戶友好的CalcuLens™組裝軟件和符合ISO標準的數(shù)據(jù)報告功能；亞微米級對中精度。
多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)EVG7300
多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)EVG7300
多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)EVG7300是一個基于模塊化和改進的SmartNIL模塊的獨立系統(tǒng)，可以根據(jù)處理和自動化水平進行配置。EVG7300支持從150毫米到300毫米的晶圓尺寸，具有低至300納米的高精度對準，先進的過程控制和高吞吐量，可以滿足各種自由形狀和高精度納米和微光學元件和器件的先進研發(fā)和大批量制造需求。
這一產(chǎn)品旨在服務廣泛的新興應用，包括微和納米壓印以及功能層的紫外線堆疊。該設備可以增強晶圓級光學，納米光子學，超表面和生物醫(yī)學芯片的工藝性能，可適用于自動駕駛，汽車和裝飾照明中的微透鏡陣列和投影儀，生物識別認證的衍射光學器件以及復雜元透鏡。
岱美儀器技術(shù)服務(上海)有限公司憑借其卓越的產(chǎn)品與技術(shù)支持，在展會中贏得了廣泛贊譽與關注。QuickPRO精密計量產(chǎn)品和FR-ES精巧型薄膜表征系統(tǒng)的精彩亮相，不僅展示了岱美在光學測量領域的深厚底蘊與創(chuàng)新實力，更為行業(yè)帶來了全新的技術(shù)視角與解決方案。未來，岱美儀器將不斷推動光學測量技術(shù)的創(chuàng)新與發(fā)展，為全球客戶提供更加精準、高效、全面的測量解決方案。
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