技術參數(shù)

1、機臺整機規(guī)格

750(W)×550(H)×650(D)mm

2、真空室規(guī)格

進口鋁 350(W)×300(H)×400(D)mm

3、電極板規(guī)格

鋁電極 330(W)×315(D)mm

4、真空電極結構

水平電極板 6層

5、真空泵系統(tǒng)

OKSUN機械旋片真空泵/愛德華干式真空泵

6、PLC自動控制系統(tǒng)硬件

工控可編程控制器及擴展模塊(D/A轉(zhuǎn)換、A/D轉(zhuǎn)換）德國西門子

7、人機工控系統(tǒng)

觸摸屏式全中文界面MCGS

8、PLC及人機工程軟件

奧坤鑫科技自主研發(fā)

9、真空測定系統(tǒng)

皮拉尼電阻式真空計，日本愛發(fā)科

10、真空供氣系統(tǒng)

Ф6品牌軟管，國產(chǎn)品牌

11、真空排氣系統(tǒng)

全不銹鋼管路+波紋管，國產(chǎn)

12破真空系統(tǒng)

電磁閥式，日本

13、氣體控制系統(tǒng)

電磁閥控制，日本

14、氣體計量系統(tǒng)

精確質(zhì)量流量控制計：MFC，SevenStar

15、等離子發(fā)生器

0-500w連續(xù)可調(diào)（13.56MHz）、OKSUN

16、其他組件

國內(nèi)外元器件

1、機臺總重

約40kg

2、額定功率

額定功率 1KW

3、機臺供電

AC-380V

4、腔體容積

進口鋁 350(W)×300(H)×400(D)mm

5、電極板數(shù)量

水平電極6層

6、單層處理大面積

330(W)×315(D)mm

7、單次處理時間

工藝不同，處理時間不同,表面活化改性5-10分鐘內(nèi)

8、工作真空度

20-50Pa

9、真空泵極限壓力

5.0X10-1Pa

10、抽真空時間

≤60秒（空載測試）

11、破真空時間

＜40秒（空載測試）

12、等離子發(fā)生器功率

0-500W, 全自動匹配

13、供氣方式

電磁閥式

14、流量計調(diào)節(jié)范圍

0-300sccm（毫升/分鐘）

15、操作方式

人工取放工件，一鍵啟動自動控制